In der Veranstaltung für das zweite Semester des Bachelor-Studiengangs NanoEngineering werden Verfahren und Anlagen der Nanotechnologie behandelt. Hierzu werden die wichtigsten Grundoperationen und deren physikalisch-chemische Grundlagen behandelt. Die Einteilung erfolgt nach dem Aggregatzustand der wichtigsten beteiligten Phase.

0 Einführung

1 Gase
1.1 Kinetische Gastheorie - Vakuum
1.2 Transportprozesse in Gasen
1.3 Vakuumtechnik – Grundoperation Vakuumerzeugung
1.4 Physikalische und Chemische Umwandlung von Gasen in kondensierte Materie (MBE, CVD)

2 Flüssigkeiten
2.1 Flüssigkeitsmodell
2.2 Transportprozesse in Flüssigkeiten
2.3 Fluiddynamik
2.4 Schichtherstellung aus der flüssigen Phase (Spincoating)

(3 Festkörper wird nicht behandelt)

Grundlagen
Physikalisch-Chemische und Verfahrens-technische Grundlagen
• P. W. Atkins, Physical Chemistry, Oxford University Press
• Manuel Jakubith, Grundoperationen und Chemische Reaktionstechnik, VCH

Vertiefung
Nanotechnologie
• M. Köhler und W. Fritsche, Nanotechnology – An Introduction to Nanostructuring Techniques, Wiley 2004
• R. Waser (Ed.), Nanoelectronics and Information Technology, Wiley 2003

Mikrotechnologie
• S. A. Campbell, The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication, Oxford University Press 2001
• S. Fransilla, Introduction to Microfabrication, Wiley 2004
• S. Middleman and A. K. Hochberg, Process Engineering Analysis in Semiconductor Device Fabrication, McGraw-Hill, Inc. 1993

Vakuumtechnologie
• M. Wutz, H. Adam, and W. Walcher, Theory and Practice of Vacuum Technology, Vieweg 1989
• Christian Edelmann, Vakuumphysik: Grundlagen, Vakuumerzeugung und -messung, Anwendungen. Spektrum Akademischer Verlag - ISBN 3-8274-0007-4

Partikel und Schichten
• T. T. Kodas and M. Hampden-Smith, Aerosol Processing of Materials, Wiley 1999
• M. Ohring, Materials Science of Thin Films – Deposition and Structure, Academic Press 2002

• W. Umrath, Grundlagen der Vakuumtechnik, Leybold, Köln 1997

• M. Jakubith, Chemische Verfahrenstechnik, Kapitel 3: Hydrodynamik, VCH 1991

• M. Jakubith, Chemische Verfahrenstechnik, Kapitel 9: Impulsbilanz, VCH 1991

• Abbildungen zur Vorlesung am 12.4.13