Technische Ausstattung

3 CVD-Reaktoren für Verfahrensoptimierung/ Forschung:

Kaltwand, Heißwand und Lichtbeheizt.

Abb.: CVD-Reaktor lichtbeheizt

Flugzeitmassenspektrometer mit Molekularstrahlprobennahme für in-situ Untersuchungen reaktiver Gemische bei hohen Temperaturen:

• Ionisation mit Elektronenstoß oder Laser (REMPI).
• Massenauflösung ca. 6000.
• Massenbereich 1 - ca. 10 000 u.

Ankoppelbar an Niederdruckflamme (10 - 100 bar) oder Hochtemperaturreaktoren (CVD oder Andere).

Abb.: Molekularstrahlprobennahme

Restgasanalysator/ Quadrupol-Massenspektrometer mit beheiztem Einlaß, Massenbereich 1 - 300 u.

Abb.: Restgasanalysator/ Quadrupol-Massenspektrometer

Gepulste Laser für spektroskopische Untersuchungen (LIF-Spektroskopie, Raman-Spektroskopie) und flächige Detektoren:

• Farbstofflaser (205 - 800 nm)
• Excimerlaser (193, 248, 308 nm)
• Nd:YAG-Laser (532, 355, 266, 1064 nm)

Bildverstärkte CCD-Kameras (ICCD).

Röntgenbeugung zur Phasenuntersuchung von Pulvern und dünnen Schichten auch in streifendem Einfall (gracing incident).

Abb.: Röntgenbeugung

Thermische Analyse

• Thermogravimetrie/ Differentielle thermische Analyse (TGA/ DTA) bis 1400 °C.
• Knudsen-Zelle für Dampfdruckmessungen (0,1 - 100 Pa, 40 - 200 °C.
• Magnetschwebewaagen zur Untersuchung von Verdampfungsgleichgewichten.

Abb.: Knudsen-Zelle und Magnetschwebewaage

Raman-Spektroskopie an Feststoffen, Anregung Festkörperlaser.

Abb.: Raman-Spektroskopie

UV-VIS- und FT-IR-Spektrometer.

Abgasanalyse.

Apparaturen zur Untersuchung von Flüssig-Dampf-Gleichgewichten.

Auflichtmikroskop.