Thermodynamik - Ausstattung

Technische Ausstattung

3 CVD-Reaktoren für Verfahrensoptimierung/ Forschung:

Kaltwand, Heißwand und Lichtbeheizt.

Bild CVD Lichtreaktor

Abb.: CVD-Reaktor lichtbeheizt

Flugzeitmassenspektrometer mit Molekularstrahlprobennahme für in-situ Untersuchungen reaktiver Gemische bei hohen Temperaturen:

  • Ionisation mit Elektronenstoß oder Laser (REMPI).
  • Massenauflösung ca. 6000.
  • Massenbereich 1 - ca. 10 000 u.

Ankoppelbar an Niederdruckflamme (10 - 100 bar) oder Hochtemperaturreaktoren (CVD oder Andere).

Bild_Molekularstrahlprobennahme

Abb.: Molekularstrahlprobennahme

Restgasanalysator/ Quadrupol-Massenspektrometer mit beheiztem Einlaß, Massenbereich 1 - 300 u.

Bild Restgasanalysator

Abb.: Restgasanalysator/ Quadrupol-Massenspektrometer

Gepulste Laser für spektroskopische Untersuchungen (LIF-Spektroskopie, Raman-Spektroskopie) und flächige Detektoren:

  • Farbstofflaser (205 - 800 nm)
  • Excimerlaser (193, 248, 308 nm)
  • Nd:YAG-Laser (532, 355, 266, 1064 nm)

Bildverstärkte CCD-Kameras (ICCD).

 

Röntgenbeugung zur Phasenuntersuchung von Pulvern und dünnen Schichten auch in streifendem Einfall (gracing incident).

Bild Röntgendiffraktometer

Abb.: Röntgenbeugung

Thermische Analyse

  • Thermogravimetrie/ Differentielle thermische Analyse (TGA/ DTA) bis 1400 °C.
  • Knudsen-Zelle für Dampfdruckmessungen (0,1 - 100 Pa, 40 - 200 °C.
  • Magnetschwebewaagen zur Untersuchung von Verdampfungsgleichgewichten.

Bild Knudsenzelle Grafik Magnetschwebewaage

Abb.: Knudsen-Zelle und Magnetschwebewaage

Raman-Spektroskopie an Feststoffen, Anregung Festkörperlaser.

Bild Ramanspektroskopie

Abb.: Raman-Spektroskopie

UV-VIS- und FT-IR-Spektrometer.

 

Abgasanalyse.

 

Apparaturen zur Untersuchung von Flüssig-Dampf-Gleichgewichten.

 

Auflichtmikroskop.

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Fachgebiet Thermodynamik

Prof. Dr. Burak Atakan