REM

REM Jeol JSM 7500F (Foto Rasch, Multimedia)

Ansprechpartner:
Dennis Kiesler


SP-14-116 SP14-60
Verschiedene Stadien des Lasersinterns von nanokristallinen Si-Schichten auf einem SiO2-Substrat.
Glas-42 VPH020
Lasergesinterte nanokristalline Si-Schicht auf Glassubstrat STEM Aufnahme der Mikrostruktur einer nanokristallinen Bulkprobe, die mittels Stromsintern hergestellt wurde.
Linescan Linescan: pn-Übergang in einer nanokristallinen Silizium Festkörperprobe - die Phosphordotierung wurde mittels eines EDX-Linienprofils nachgewiesen. Aufgrund des schwachen Signals (1% Phosphor) wurde der Untergrund an der Stelle, an der das Schwefelsignal zu erwarten wäre, ausgewertet und aufgetragen. Eine Anreicherung des Phosphors in SiO2-Ausscheidungen konnte ebenfalls gezeigt werden.