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Insgesamt sind in der Vertiefungsrichtung Nanoprozesstechnologie 34 ECTS und in der Vertiefungsrichtung Nanoelektronik/Nanooptoelektronik 33 ECTS zu erbringen. Mindestens 25 ECTS sind durch Prüfungsleistungen aus dem folgenden Angebot, die weiteren ECTS aus frei wählbaren technischen Fächern anderer ingenieurwissenschaftlicher, physikalischer oder chemischer Masterstudiengänge der Hochschule zu erbringen.
Alle Fächer der jeweils anderen Vertiefungsrichtung (sofern nicht Pflichtfach in der eigenen Vertiefungsrichtung).
