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Course Type (SWS)
Lecture: 0 │ Exercise: 0 │ Lab: 3 │ Seminar: 0
Exam Number: ZKA 41317
Type of Lecture:
Language: German
Cycle: SS
ECTS: 4
Exam Type
Audits, writing of minutes
assigned Study Courses
assigned People
assigned Modules
Information
Beschreibung: Das Praktikum deckt die verschiedenen Bereichen der Halbleitertechnologie ab, zu denen im Fachbereich Ingenieurwissenschaften der Uni Duisburg-Essen geforscht wird. Es werden Themen aus der Optoelektronik, der Silizium-Halbleitertechnologie, der Technologie für Höchstfrequenzbauelemente aus III-V-Halbleitern und der Nanotechnologie für Quantenbauelemente angeboten. Der Schwerpunkt der Versuche dient der Herstellung und technologienahen Charakterisierung von Bauelementen, die den Zusammenhang zwischen Herstellung und Bauelementeparametern deutlich macht. Für die einzelnen Versuche stehen ausführliche Beschreibungen zur Verfügung, innerhalb derer die notwendigen Grundlagen wiederholt werden. Verständnisfragen und Aufgaben werden gestellt, die als Vorbereitung zuhause gelöst werden müssen. Zur Durchführung der Laborversuche gehören ein Kolloquium mit An-Testat, die eigentliche Versuchsdurchführung sowie ein Versuchsprotokoll.

Versuche OE:
1) Photovoltaik
2) Aufbau-, Verbindungs- und Systemtechnik

Versuche NST:
3) ...
4) ...

Versuche Bacher/WET
5) ...
6) ...

Versuche EBS/Vogt:
7) Charakterisierung von MOS-Kondensatoren und -Transistoren
8) Messtechnik in der Halbleiterfertigung
Lernziele: Das Praktikum befähigt die Studierenden, die prinzipellen Schritte zur Herstellung von Halbleiterbauelementen zu verstehen und diese praktisch anzuwenden. Sie sind ausserdem in der Lage, einfache Halbleiterbauelemente herzustellen, diese messtechnisch zu charakterisieren und das Ergebnis der Herstellung zu bewerten.
Literatur:
Vorleistung:
Infolink:
Bemerkung:
Description: The laboratory covers various areas of semiconductor technology, which are under investigation in the Department of Engineering Sciences at the University of Duisburg-Essen. It offers topics from optoelectronics, silicon semiconductor technology, the technology for high-frequency devices made from III-V semiconductors and nanotechnology for quantum devices. The focus of the experiments lays on the manufacturing and technology-based characterization of components, making clear the relationship between production parameters and components. Detailed descriptions are available for the individual experiments, within which the necessary fundamentals are recapitulated. Comprehension questions and tasks are provided, to be solved as preparation at home. The labs include a colloquium to audit, the experimental procedure and the minutes.

Experiments OE:
1) Photovoltaics
2) Packaging and System Measurements

Experiments NST:
3) ...
4) ...

Experiments WET
5) ...
6) ...

Experiments EBSp:
7) Characterization of MOS capacitors and transistors
8) metrology in semiconductor manufacturing
Learning Targets: The laboratory enables the students to understand the principle steps in the fabrication of semiconductor devices and to do this in practice. They are also capable of manufacturing simple semiconductor devices, doing measurements and characterizing the result of the fabrication.
Literature:
Pre-Qualifications:
Info Link:
Notice: