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Course Type (SWS)
Lecture: 0 │ Exercise: 0 │ Lab: 0 │ Seminar: 2
Exam Number: ZHA 41508
Type of Lecture:
Language: German
Cycle: SS
ECTS: 3
assigned Study Courses
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Information
Beschreibung:
  • Grundlagen der kinetischen Gastheorie; Bauteile und Werkstoffe der Vakuumtechnik; Abscheidung und
  • Wachstum dünner Schichten (strukturell, chemisch, optisch); Anwendungen: Hartstoffschichten (insbes.
  • Diamant); optische Schichten, magnetische und optische Datenspeicherung, Heterostrukturbauelemente
Lernziele:

Erwerb grundlegender Kenntnisse der Vakuumtechnik der Dünnschichttechnologie.

Literatur:
  • M. Wutz, H. Adam, W. Walcher: Theorie und Praxis der Vakuumtechnik
  • M. Ohring: The materials science for thin films
Vorleistung:
Infolink:
Bemerkung:
Description:
Learning Targets:
Literature:
  • M. Wutz, H. Adam, W. Walcher: Theorie und Praxis der Vakuumtechnik
  • M. Ohring: The materials science for thin films
Pre-Qualifications:
Info Link:
Notice: