Veranstaltungsarten (SWS)
Vorlesung: 2 │ Übung: 1 │ Praktikum: 0 │ Seminar: 0
Prüfungsnummer: ZKA 41524
Lehrform:
Sprache: Deutsch
Turnus: SS
ECTS: 3
Prüfungsleistung Mündliche Prüfung (30 min.)
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zugeordnete Personen
zugeordnete Module
Informationen
Beschreibung:

Die Entwicklung von Nanostrukturen mit neuartigen funktionellen Eigenschaften verlangt Analysemethoden mit Ortsauflösung bis in den nm-Bereich. Die Vorlesung knüpft an die Vorlesung „Nanoanalytik I“ an und behandelt Charakterisierungsverfahren, die auf der Wechselwirkung von Photonen mit der Materie beruhen.
• Strukturelle Analyse von Nanostrukturen (Röntgenbeugung)
• Topographieanalyse mit Scanning Optical Microscopy
• Chemische Analyse von Nanostrukturen und Oberflächen (XPS, RFA, NMR, FTIR)
• Optische Eigenschaften von Nanostrukturen/Halbleitern und ihre Analyse mit optischer (Laser-)Spektroskopie/SNOM
• Optische Analyse von Nanostrukturen/Quantenobjekten mit zeitlich/räumlich hochaufgelösten spektroskopischen Verfahren

Dabei werden insbesondere auch die Leistungsfähigkeit, die physikalischen Grenzen und die Anwendungen der einzelnen Methoden auf aktuelle F&E-Fragestellungen diskutiert.

Lernziele:

Den Studierenden sind die grundlegenden Wechselwirkungen von Photonen mit Materie sowie wesentliche optische Eigenschaften von Halbleitern/Nanostrukturen vertraut. Sie können entscheiden, welche Verfahren zur Analyse spezifischer struktureller und optischer Eigenschaften der Nanostrukturen geeignet sind. Sie kennen die Anforderungen, die aktuell in Forschung und Entwicklung an diese nanoanalytischen Messverfahren gestellt werden.

Literatur:

1) M. Grasserbauer (ed.): Analysis of microelectronic materials and devices, J. Wiley & Sons, 1994
2) Bauer/Richter (eds.): Optical Characterization of Epitaxial Semiconductor Layers, Springer Verlag Berlin, 1996
3) W. Demtröder: Laserspektroskopie, Springer Verlag Berlin, 2004
4) Skript zur Vorlesung

Vorleistung:
Infolink:
Bemerkung:
Description:
Learning Targets:
Literature:

1) M. Grasserbauer (ed.): Analysis of microelectronic materials and devices, J. Wiley & Sons, 1994
2) Bauer/Richter (eds.): Optical Characterization of Epitaxial Semiconductor Layers, Springer Verlag Berlin, 1996
3) W. Demtröder: Laserspektroskopie, Springer Verlag Berlin, 2004
4) Skript zur Vorlesung

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