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Form und Kriterien für die Studienleistung werden gemäß Prüfungsordnung vom Lehrenden zu Beginn der Lehrveranstaltung bekanntgegeben.
Die Studierenden sollen in kleinen Gruppen an definierten Stationen im Bereich der Elektrotechnik, des Maschinenbaus und der Physik praktische Versuche durchführen. Zur Durchführung der Laborversuche gehören ein Kolloquium mit An-Testat, die eigentliche Versuchsdurchführung sowie eine abschließende Besprechung. Inhalt der Lehrveranstaltung sind ausgewählte Versuche zur - Epitaxie - Nano-Partikelherstellung - optische und Elektronenstrahl-Lithografie - Halbleiter-Prozeßtechnik - strukturelle Charakterisierung - optische, elektrische und magnetische Charakterisierung - Analyse nanostrukturierter Bauelemente Die Versuche werden dabei an moderen Forschungseinrichtungen der beteiligten Hochschullehrer durchgeführt um so den Studierenden einen ersten Einblick in aktuelle F&E Tätigkeiten zu gewähren. Es werden die soft-skills Teamfähigkeit und Präsentation geübt.
Die Studierenden haben einen Überblick über verschiedene Methoden und Techniken im Bereich NanoEngineering gewonnen und wurden durch die selbstständige Durchführung der Versuche mit dem praktischen Einsatz modernster Technologien und Analyseverfahren vertraut. Sie sind in der Lage, bei definierten Problemstellungen geeignete Techniken zu identifizieren und erkennen Möglichkeit und Grenzen moderner Methoden im Bereich NanoEngineering.
Versuchsbeschreibungen und die darin enthaltene weiterführende Literatur
Small groups of students working in different areas, Machanical Engineering, Physics and Electrical Engineering. The labs start with a short oral test. After finishing each lab a report has to submitted. The different labs are from the following list: - Epitaxy - Nano particle production - Optical and ebeam lithography - Semiconductor prozess technology - Structural characterization - Optical, electrical and magnetical characterization The labs take place in modern research facilities and give an insight into the current research activities in nanotechnology at the University of Duisburg-Essen.
The successful student will oversee different techniques in the area of NanoEngineering. He or she is able to use choose the right technique to solve a problem and are familar with the limits if this techique.
