Veranstaltungsarten (SWS)
Vorlesung: 0 │ Übung: 0 │ Praktikum: 0 │ Seminar: 2
Prüfungsnummer: ZHA 41508
Lehrform:
Sprache: Deutsch
Turnus: SS
ECTS: 3
zugeordnete Studiengänge
zugeordnete Personen
zugeordnete Module
Informationen
Beschreibung:
  • Grundlagen der kinetischen Gastheorie; Bauteile und Werkstoffe der Vakuumtechnik; Abscheidung und
  • Wachstum dünner Schichten (strukturell, chemisch, optisch); Anwendungen: Hartstoffschichten (insbes.
  • Diamant); optische Schichten, magnetische und optische Datenspeicherung, Heterostrukturbauelemente
Lernziele:

Erwerb grundlegender Kenntnisse der Vakuumtechnik der Dünnschichttechnologie.

Literatur:
  • M. Wutz, H. Adam, W. Walcher: Theorie und Praxis der Vakuumtechnik
  • M. Ohring: The materials science for thin films
Vorleistung:
Infolink:
Bemerkung:
Description:
Learning Targets:
Literature:
  • M. Wutz, H. Adam, W. Walcher: Theorie und Praxis der Vakuumtechnik
  • M. Ohring: The materials science for thin films
Pre-Qualifications:
Info Link:
Notice: