Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik

Das im Jahre 1998 eröffnete Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik (ZHO) besteht aus zwei L-förmig angeordneten, dreigeschossigen Gebäudekomplexen, in denen 1.630 qm Labor- und Büroflächen untergebracht sind. Genutzt werden sie von den Uni-Fachgebieten Halbleitertechnik/ Halbleitertechnologie und Optoelektronik. Beide Hightech-Abteilungen arbeiten an modernsten Halbleitermaterialien für winzige elektronische Bauelemente und ultraschnelle Schaltungen. Sie werden beispielsweise in der Kommunikationstechnik eingesetzt, bei der die Daten optisch und per Funk übertragen werden.

Darüber hinaus fokussiert sich die aktuelle Forschung immer stärker auf aktuelle Themen der Nanotechnologie bzw. Nanoelektronik. Einer der Forschungsschwerpunkte ist aktuell auch die Nanoenergietechnik.

Das ZHO besitzt einen bautechnisch strikt getrennten 470 qm großen staubfreien "Reinraumbereich", der stündlich von etwa 232.000 m³ speziell gefilterter Umluft durchströmt wird. Sämtliche Anlagen im ZHO werden hundertprozentig emissionsfrei geführt. Diese besonders aufwändige Gebäudetechnik ist notwendig, um schnellste Schaltungen von Grund auf in einer zusammenhängenden Technologiekette entwickeln und herstellen zu können, darüber hinaus aber auch den besonderen Ansprüchen der Nanotechnologie gerecht zu werden. Damit steht in Duisburg eines der größten Reinraumlabore dieser Art und Qualität, das an einer deutschen Universität zu finden ist.

Nach einer kurzen Einführung und Vorstellung der verwendeten Halbleitermaterialien und gefertigten Bauelemente sowie der zugehörigen technologischen Verfahren zu deren Herstellung besteht die Gelegenheit, diesen Reinraum zu besichtigen. Um eine Verunreinigung auch des Besucherbereichs zu vermeiden, werden die Besucher mit speziellen Reinraumoveralls ausgestattet. Im Rahmen der Führung werden die Anlagen und Fertigungsprozesse vor Ort anschaulich erklärt. Im Anschluss daran wird auch ein Einblick in die Anwendung von optoelektronischen Komponenten und Systeme geboten.