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Es wurde 1 Person gefunden.

Dipl.-Ing. Till van der Zwaag

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Die folgenden Publikationen sind in der Online-Universitätsbibliographie der Universität Duisburg-Essen verzeichnet. Weitere Informationen finden Sie gegebenenfalls auch auf den persönlichen Webseiten der Person.

    Artikel in Zeitschriften

  • Kruis, Frank Einar; Wei, Jianming; van der Zwaag, Till; Haep, Stefan
    Computational fluid dynamics based stochastic aerosol modeling : Combination of a cell-based weighted random walk method and a constant-number Monte-Carlo method for aerosol dynamics
    In: Chemical Engineering Science, 2012, Nr. 70, S. 109 – 120
    DOI
  • Yook, Se-Jin; Fissan, Heinz; Engelke, Thomas; Asbach, Christof; van der Zwaag, Till; Kim, Jung Hyeun; Wang, Jing; Pui, David Y.H.
    Classification of highly monodisperse nanoparticles of NIST-traceable sizes by TDMA and control of deposition spot size on a surface by electrophoresis
    In: Journal of Aerosol Science, Jg. 39, 2008, Nr. 6, S. 537 – 548
    DOI
  • Yook, S.-Y.; Fissan, Heinz; Engelke, T.; Asbach, A.; van der Zwaag, Till; Kim, J.H.; Eschbach, F.; Wang, J.; Pui, D.Y.H.
    Controlled Deposition of SiO2 Nanoparticles of NIST-Traceable Particle Sizes for Mask Surface Inspection System Characterization
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 21, 2008, Nr. 2, S. 238 – 243
    DOI
  • Yook, S.-Y.; Fissan, Heinz; Asbach, Christof; Kim, J.H.; van der Zwaag, Till; Engelke, T.; Yan, P.-Y.; Pui, D.Y.H.
    Experimental Investigations of Protection Schemes for Extreme Ultraviolet Lithography Masks in Carrier Systems Against Horizontal Aerosol Flow
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 20, 2007, Nr. 2, S. 176 – 185
    DOI
  • Engelke; van der Zwaag, Till; Asbach, C.; Fissan, Heinz; Kim, J.H.; Yook, S.-J.; Pui, D.Y.H.
    Numerical Evaluation of Protection Schemes for EUVL Masks in Carrier Systems Against Horizontal Aerosol Flow
    In: Journal of the Electrochemical Society (JES), Jg. 154, 2007, Nr. 3, S. H170 – H176
    DOI

    • Beiträge in Sammelwerken und Tagungsbänden

  • Kuhlbusch, Thomas J.; Rating, U.; van der Zwaag, Till; Fissan, Heinz; Asbach, Christof
    Modelling of Physical Processes during Dispersion of Nanoparticles from a Leak
    In: European Aerosol Conference 2008 / European Aerosol Conference 2008: 24-29 August 2008, Thessaloniki, Greece, 2008, S. T01A023O
  • Asbach, S.; van der Zwaag, Till; Engelke, T.; Yook, S.-J.; Kim, J.H.; Fissan, Heinz
    Particle Deposition on Two Parallel, Horizontal Plates under the Influence of Thermophoresis and Electrophoresis
    In: 7th International Aerosol Conference / IAC 2006, September 10-15 2006,St. Paul, Minnesota USA, 2006, S. 764 – 765
  • Fissan, Heinz; van der Zwaag, Till; Engelke, T.; Asbach, Christof; Kim, Jung Hyeun; Yook, Se-Jin; Pui, David Y.H.
    Basic Solutions for Nanoparticle Contamination in EUV-Lithography
    In: Nanofair 2005: New Ideas for Industry / 4th International Nanotechnology Symposium, November 29 - 30, 2005, Dresden. Düsseldorf: VDI Verlag, 2005, S. 11 – 14
  • Asbach, Christof; Kim, J.-H.; Yook, Se-Jin; Pui, David Y.H.; van der Zwaag, Till; Engelke, T.; Fissan, Heinz
    Modeling of Nanoparticle Contamination on Critical Surfaces in Semiconductor Industry
    In: EAC 2005: European Aerosol Conference 2005 : 28. August - 2.September 2005, Ghent, Belgium / European Aerosol Conference (EAC), 28. August - 2.September 2005, Ghent, Belgium. Gent: Universiteit Gent, 2005, S. 631