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Es wurde 1 Person gefunden.

Anschrift
Bismarckstr. 81 (BB)
47057 Duisburg
Raum
BB 813

Funktionen

  • Universitätsprofessor/in, Elektronische Bauelemente und Schaltungen

Die folgenden Publikationen sind in der Online-Universitätsbibliographie der Universität Duisburg-Essen verzeichnet. Weitere Informationen finden Sie gegebenenfalls auch auf den persönlichen Webseiten der Person.

    Artikel in Zeitschriften

  • Türk, Semih; Schug, Alexander; Viga, Reinhard; Jupe, Andreas; Vogt, Holger
    Optimization of the dielectric layer for electrowetting on dielectric
    In: Integration Jg. 67 (2019) S. 50 - 59
    ISSN: 0167-9260
  • Dogan, Özgü; Buschhausen, A.; Walk, Christian; Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
    Development of a Post-CMOS Compatible Nanoporous Thin Film layer Based on Al₂O₃
    In: IOP Conference Series: Materials Science and Engineering Jg. 350 (2018) Nr. 1, S. 012001
    ISSN: 1757-899X; 1757-8981
  • Verheyen, Erik; Erbslöh, Andreas; Viga, Reinhard; Vogt, Holger
    Simulation Results of Prospective Next Generation 3-D Thermopile Sensor and Array Circuitry Options
    In: IEEE Sensors Letters Jg. 2 (2018) Nr. 2,
    ISSN: 2475-1472
  • Schmidt, Andrei; Dreiner, Stefan; Vogt, Holger; Goehlich, Andreas; Paschen, Uwe
    Analytical model for thin-film SOI PIN-diode leakage current
    In: Solid state electronics Jg. 130 (2017) S. 4 - 8
  • Livshits, Pavel; Jupe, Andreas; Kahnert, Stefan; Figge, Martin; Mross, Stefan; Görtz, Michael; Vogt, Holger; Goehlich, Andreas
    Development of micro electromechanical biosensor for fast detection of respiratory syncytial virus infections in newborns
    In: Biomedical Engineering = Biomedizinische Technik Jg. 62 (2017) Nr. s1, S. S144
    ISSN: 0013-5585
  • Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Figge, Martin; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger
    Fabrication and electrochemical characterization of ruthenium nanoelectrodes
    In: Current Directions in Biomedical Engineering Jg. 3 (2017) Nr. 2, S. 393 - 396
    ISSN: 2364-5504
  • Mross, Stefan; Zimmermann, Tom; Zenzes, Sebastian; Kraft, Michael; Vogt, Holger
    Study of enzyme sensors with wide, adjustable measurement ranges for in-situ monitoring of biotechnological processes
    In: Sensors and actuators B: Chemical Jg. 241 (2017) Nr. 3, S. 48 - 54
    ISSN: 0925-4005
  • Muckensturm, Kai-Marcel; Weiler, Dirk; Hochschul, Frank; Busch, Claudia; Geruschke, Thomas; Wall, Simone; Heß, Jennifer; Lerch, Renee; Würfel, Daniel; Vogt, Holger
    Ungekühlte Mikrobolometer-Arrays mit einer Pixelgröße von 12 µm basierend auf einer neuartigen thermisch isolierenden Struktur
    In: Technisches Messen : tm Jg. 84 (2017) Nr. 6, S. 381 - 388
    ISSN: 0171-8096
  • Kelberer, Andreas; Dreiner, Stefan; Grella, Katharina; Dittrich, Dirk; Kappert, Holger; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
    Experimental reliability studies and SPICE simulation for EEPROM at temperatures up to 450°C
    In: Journal of microelectronics and electronic packaging Jg. 13 (2016) Nr. 1, S. 33 - 37
  • Mross, Stefan; Zimmermann, Tom; Winkin, Nadine; Kraft, Michael; Vogt, Holger
    Integrated multi-sensor system for parallel in-situ monitoring of cell nutrients, metabolites, cell density and pH in biotechnological processes
    In: Sensors and actuators B: Chemical Jg. 236 (2016) S. 937 - 946
    ISSN: 0925-4005
  • Driewer, Adrian; Hosticka, Bedrich; Spickermann, Andreas; Vogt, Holger
    Modeling of the charge transfer in a lateral drift field photo detector
    In: Solid state electronics Jg. 126 (2016) Nr. 12, S. 51 - 58
  • Mross, Stefan; Fürst, Peter; Pierrat, Sebastien; Zimmermann, Tom; Vogt, Holger; Kraft, Michael
    Enzyme sensor with polydimethylsiloxane membrane and CMOS potentiostat for wide-range glucose measurements
    In: IEEE Sensors Journal Jg. 15 (2015) Nr. 12, S. 7096 - 7104
    ISSN: 1530-437X
  • Elßner, Michael; Vogt, Holger
    Failure mechanisms of microbolometer thermal imager sensors using chip-scale packaging
    In: Microelectronics reliability Jg. 55 (2015) Nr. 9-10, S. 1901 - 1905
    ISSN: 0026-2714
  • Dietz, Dorothee; Celik, Yusuf; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger; Kappert, Holger
    High-temperature trench capacitors, using thin-film ALD dielectrics
    In: Additional conferences (Device packaging, HiTEC, HiTEN, & CICMT) / International Conference on High Temperature Electronics Network (HiTEN 2015) ; Cambridge, United Kingdom, 6 - 8 July 2015 / Jg. 2015 (2015) Nr. Issue HiTEN, S. 130 - 133
    ISBN: 978-1-5108-1033-4 ISSN: 2380-4491
  • Mross, Stefan; Zimmermann, Tom; Winkin, Nadine; Kraft, Michael; Vogt, Holger
    Integrated multi-sensor system for parallel in-situ monitoring of cell nutrients, metabolites and cell mass in biotechnological processes
    In: Procedia Engineering / Eurosensors 2015 / Jg. 120 (2015) S. 372 - 375
    ISSN: 1877-7058
  • Elßner, Michael; Vogt, Holger
    Reliability of microbolometer thermal imager sensors using chip-scale packaging
    In: Procedia Engineering / Eurosensors 2015 / Jg. 120 (2015) S. 1191 - 1196
    ISSN: 1877-7058
  • Burmester, Kim; Goehlich, Andreas; Celik, Yusuf; Manova, Radostina K.; Scheres, Luc; Roeven, Esther; Trilling, Anke; Schmidt, Andreas; Hutten, Ulrike; Neureiter, Katrin; Pierrat, Sebastien; van Beek, Teris A.; Vogt, Holger
    CMOS integrated biosensor for the detection of biomarkers
    In: Biomedizinische Technik = Biomedical Engineering Jg. 59 (2014) Nr. s1 (DGBMT Jahrestagung, 48, 2014, Hannover), S. 136
    ISSN: 1862-278X; 0013-5585
  • Kahnert, Stefan; Goehlich, Andreas; Greifendorf, Dieter; Vogt, Holger; Lennartz, Klaus; Kirstein, Uwe; Göllner, Bastian; Michelsen, Ulrike; Bartels, Frank; Schreiber, Fedor; Rennings, Andreas; Erni, Daniel
    Development of a microchip based cell sorting device
    In: Biomedizinische Technik = Biomedical engineering Jg. 59 (2014) Nr. s1 (DGBMT Jahrestagung, 48, 2014, Hannover), S. S137 - S139
    ISSN: 0013-5585
  • Gembaczka, Pierre; Görtz, Michael; Celik, Yusuf; Jupe, Andreas; Stühlmeyer, Martin; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger; Mokwa, Wilfried; Kraft, Michael
    Encapsulation of implantable integrated MEMS pressure sensors using polyimide epoxy composite and atomic layer deposition
    In: Journal of sensors and sensor systems: JSSS Jg. 3 (2014) Nr. 2, S. 335 - 347
    ISSN: 2194-878X
  • Wang, Qiang; Goehlich, Andreas; Ruß, Marco; Yang, Pin; Vogt, Holger
    PECVD of poly-SiGe/Ge layers with increased total gas flow
    In: Microelectronic engineering Jg. 115 (2014) S. 26 - 31
  • Grella, Katharina; Dreiner, Stefan; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
    Reliability of CMOS on silicon-on-insulator for use at 250°C
    In: IEEE Transactions on Device and Materials Reliability Jg. 14 (2014) Nr. 1, S. 21 - 29
    ISSN: 1530-4388; 1558-2574
  • Dreiner, Stefan; Grella, Katharina; Heiermann, Wolfgang; Kelberer, Andreas; Kappert, Holger; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
    Zuverlässigkeitsuntersuchungen an einer hochtemperaturtauglichen SOI-CMOS-Technologie
    In: PLUS (2014) Nr. 6, S. 1299 - 1308
  • Kropelnicki, Piotr; Muckensturm, Kai-Marcel; Mu, Xiaojing; Randles, Andrew B.; Cai, Hong; Ang, W. C.; Tsai, Julius M.; Vogt, Holger
    CMOS-compatible ruggedized high temperature Lamb wave pressure sensor
    In: Journal of micromechanics and microengineering Jg. 23 (2013) Nr. 8,
    ISSN: 1361-6439
  • Vogt, Holger; Heiermann, Wolfgang; Heß, Jennifer
    Galvanik in der Mikrosystemtechnik
    In: ATZ-Elektronik Jg. 8 (2013) Nr. 2, S. 88 - 93
    ISSN: 1862-1791; 2192-8878
  • Grella, Katharina; Dreiner, Stefan; Schmidt, Alexander; Heiermann, Wolfgang; Kappert, Holger; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
    High temperature characterization up to 450°C of MOSFETs and basic circuits realized in a Silicon-on-Insulator (SOI) CMOS-technology
    In: Journal of microelectronics and electronic packaging Jg. 10 (2013) Nr. 2, S. 67 - 72
    ISSN: 1551-4897
  • Grella, Katharina; Dreiner, Stefan; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
    Reliability investigations up to 350°C of gate oxid capacitors realized in a Silicon-on-Insulator CMOS-technology
    In: Journal of microelectronics and electronic packaging Jg. 10 (2013) Nr. 4, S. 150 - 154
    ISSN: 1551-4897
  • Cleven, Nina J.; Müntjes, Jutta A.; Fassbender, Holger; Urban, Ute; Görtz, Michael; Vogt, Holger; Gräfe, Maik; Göttsche, Thorsten; Penzkofer, Tobias; Schmitz-Rode, Thomas; Mokwa, Wilfried
    A novel fully implantable wireless sensor system for monitoring hypertension patients
    In: IEEE Transactions on Biomedical Engineering Jg. 59 (2012) Nr. 11, S. 3124 - 3130
    ISSN: 1558-2531; 0018-9294
  • Würfel, Daniel; Vogt, Holger
    An improved electrical and thermal model of a microbolometer for electronic circuit simulation
    In: Advances in radio science : Kleinheubacher Berichte Jg. 10 (2012) S. 183 - 186
    ISSN: 1684-9973
  • Betz, Wolfgang; Trieu, Hoc-Khiem; Vogt, Holger
    Microelectromechanical implants: encapsulation concepts and test procedures
    In: Biomedizinische Technik = Biomedical Engineering Jg. 57 (2012) Nr. s1 (DGBMT Jahrestagung, 46, 2012, Jena), S. 914
    ISSN: 1862-278X
  • Herbert, Stefan; Banyay, Matus; Maryasov, Alexey; Hochschulz, Frank; Paschen, Uwe; Vogt, Holger; Juschkin, Larissa
    Quantum efficiency determination of a novel CMOS design for fast imaging applications in the extreme ultraviolet
    In: IEEE transactions on electron devices Jg. 59 (2012) Nr. 3, S. 846 - 849
    ISSN: 0018-9383
  • Utz, Alexander; Gendrisch, Lutz; Weiler, Dirk; Kolnsberg, Stephan; Vogt, Holger
    Simulation method for LWIR radiation distribution using a visual ray-tracer
    In: Optical and quantum electronics Jg. 44 (2012) Nr. 3-5, S. 297 - 301
    ISSN: 0306-8919; 1572-817X
  • Würfel, Daniel; Ruß, Marco; Lerch, Renee G.; Weiler, Dirk; Yang, Pin; Vogt, Holger
    An uncooled VGA-IRFPA with novel readout architecture
    In: Advances in radio science : Kleinheubacher Berichte Jg. 9 (2011) S. 107 - 110
    ISSN: 1684-9973
  • Sommer, Sebastian P.; Paschen, Uwe; Figge, Martin; Vogt, Holger
    Light switched plasma charging protection device for high-field characterization and flash memory protection
    In: IEEE transactions on device and materials reliability Jg. 11 (2011) Nr. 1, S. 81 - 85
    ISSN: 1530-4388; 1558-2574
  • Hochschulz, Frank; Brockherde, Werner; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
    Neue CMOS-Bildsensoren erweitern Einsatzmöglichkeiten
    In: Labor-Praxis Jg. 35 (2011) Nr. 5, S. 22 - 24
  • Utz, Alexander; Gendrisch, Lutz; Vogt, Holger
    Simulating far-infrared scenarios with the radiance synthetic imaging system
    In: Computing in science and engineering Jg. 13 (2011) Nr. 4, S. 98 - 103
    ISSN: 1521-9615
  • Durini, Daniel; Spickermann, Andreas; Mahdi, Rana; Brockherde, Werner; Vogt, Holger; Grabmaier, Anton; Hosticka, Bedrich
    Lateral drift-field photodiode for low noise, high-speed, large photoactive-area CMOS imaging applications
    In: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research / Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment Jg. 624 (2010) Nr. 2, S. 470 - 475
    ISSN: 0168-9002
  • Würfel, Daniel; Weiler, Dirk; Hosticka, Bedrich; Vogt, Holger
    Noise of short-time integrators for readout of uncooled infrared bolometer arrays
    In: Advances in radio science : Kleinheubacher Berichte Jg. 8 (2010) S. 129 - 133
    ISSN: 1684-9973
  • Nachrodt, Dirk; Paschen, Uwe; Have, Arnd ten; Vogt, Holger
    Ti/Ni(80%)Cr(20%) thin-film resistor with a nearly zero temperature coefficient of resistance for integration in a standard CMOS process
    In: IEEE electron device letters Jg. 29 (2008) Nr. 3, S. 212 - 214
  • Köster, Oliver; Schuhmann, Wolfgang; Vogt, Holger; Mokwa, Wilfried
    Quality control of ultra-microelectrode arrays using cyclic voltammetry, electrochemical impedance spectroscopy and scanning electrochemical microscopy
    In: Sensors and actuators B: Chemical Jg. 76 (2001) Nr. 1-3, S. 573 - 581
    ISSN: 0925-4005
  • Steck, Beate; Vogt, Holger
    Optimization of vertical 600 and 1500 V SOI-ESTs with low on-state voltages
    In: Solid-state electronics : SSE Jg. 44 (2000) Nr. 12, S. 2131 - 2138
  • Weyers, Joachim; Rost, W.; Vogt, Holger
    Entwicklung eines BICMOS-Smart-Power-Prozesses in lokaler SIMOX-Technologie
    In: Electrical engineering Jg. 79 (1996) Nr. 5, S. 335 - 341
    ISSN: 0003-9039; 0948-7921
  • Werno, Jochen; Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger; Kersjes, Ralf A.
    Reduction of heat loss of silicon membranes by the use of trench etching techniques
    In: Sensors and actuators A : Physical Jg. 42 (1994) Nr. 1-3, S. 578 - 581
    ISSN: 0250-6874
  • Vogt, Holger
    Intelligente Sensoren auf dem Weg zum ASIC
    In: Markt und Technik (1993) Nr. 30, S. 24 - 26
    ISSN: 0344-8843
  • Gassel, Helmut; Peter-Weidemann, Jürgen; Vogt, Holger
    Novel approach to defect etching in thin film silicon-on-insulator
    In: Journal of the Electrochemical Society : JES Jg. 140 (1993) Nr. 6, S. 1713 - 1716
    ISSN: 0013-4651
  • Vogt, Holger
    Smart power technology with dielectric insulation: Processes and applications
    In: Electron technology Jg. 26 (1993) Nr. 1, S. 83 - 93
    ISSN: 0070-9816
  • Kandler, Michael; Manoli, Yiannakis; Mokwa, Wilfried; Spiegel, Egbert; Vogt, Holger
    A miniature single-chip pressure and temperature sensor
    In: Journal of micromechanics and microengineering Jg. 2 (1992) Nr. 3, S. 199 - 201
    ISSN: 1361-6439
  • Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
    Dreidimensionale Mikrostrukturen eröffnen neue Anwendungen : Geringes Gewicht, kleinste Abmessungen durch Integration auf kleinstem Raum
    In: Handelsblatt Jg. 47 (1992) Nr. 214, S. 30
  • Weyers, Joachim; Vogt, Holger; Berger, Michael; Mach, Wolfgang; Mütterlein, Bernward; Raab, Michael; Richter, Frank; Vogt, Franz P.
    Integration of vertical/quasivertical DMOS, CMOS and bipolar transistors in a 50V SIMOX process
    In: Microelectronic engineering Jg. 19 (1992) Nr. 1-4, S. 733 - 735
    ISSN: 0167-9317
  • Badenes, Goncal; Burbach, Gert; Gassel, Helmut; Vogt, Holger; Walter, Axel
    Minimum oxygen dose for reliable application of SIMOX
    In: Materials science and engineering B: Solid-state materials for advanced technology Jg. 12 (1992) Nr. 1-2, S. 149 - 151
    ISSN: 1873-4944
  • Dura, Heinz-Georg; Schöneberg, Uwe; Mokwa, Wilfried; Hosticka, Bedrich; Vogt, Holger
    Performance of hydrogen-sensitive MOS capacitances with integrated on-chip signal conditioning
    In: Sensors and actuators B: Chemical Jg. 6 (1992) Nr. 1-3, S. 162 - 164
    ISSN: 0925-4005
  • Belz, Joachim; Burbach, Gert; Vogt, Holger; Zimmer, Günter
    High-quality SOI-substrates for CMOS transistors
    In: Vacuum Jg. 42 (1991) Nr. 5-6, S. 387 - 388
    ISSN: 0042-207X
  • Buttler, Werner; Vogt, Holger; Lutz, Gerhard; Manfredi, Pier Francesco; Speziali, Valeria
    JFET-PMOS technology, in the design of monolithic preamplifier systems for multielectrode detectors
    In: IEEE transactions on nuclear science Jg. 38 (1991) Nr. 2, S. 69 - 76
    ISSN: 0018-9499
  • Badenes, Goncal; Abel, Hans B.; Burbach, Gert; Gassel, Helmut; Vogt, Holger
    Measurement of SOI film thickness
    In: Microelectronic engineering Jg. 15 (1991) Nr. 1-4, S. 207 - 210
  • Vogt, Holger; Burbach, Gert; Belz, Joachim; Zimmer, Günter
    Silicon-on-insulator development in Europe
    In: Solid state technology Jg. 34 (1991) Nr. 2, S. 79 - 83
  • Boguszewicz, Remigiusz; Burbach, Gert; Fiedler, Horst-Lothar; Mütterlein, Bernward; Vogt, Franz P.; Vogt, Holger
    Leistungsschalter für 500 V mit dielektrisch isolierter CMOS-Signalelektronik
    In: Mikroelektronik Jg. 4 (1990) Nr. 6, S. 256 - 259
  • Zimmer, Günter; Vogt, Holger; Lackmann, Rainer
    Trends in VLSI technologies
    In: Microelectronic engineering Jg. 12 (1990) S. 1 - 11
    ISSN: 0167-9317
  • Belz, Joachim; Burbach, Gert; Vogt, Holger; Peter-Weidemann, Jürgen; Zimmer, Günter
    High quality silicon-on-insulator substrates by implanted oxygen ions
    In: Materials science and engineering B: Solid-state materials for advanced technology Jg. 4 (1989) Nr. 1-4, S. 429 - 433
    ISSN: 1873-4944
  • Vogt, Holger; Burbach, Gert; Belz, Joachim; Zimmer, Günter
    MESFETs in thin silicon on SIMOX
    In: Electronics letters Jg. 25 (1989) Nr. 23, S. 1580 - 1581
    ISSN: 1350-911X; 0013-5194
  • Lutz, Gerhard; Maloberti, Franco; Manfredi, Pier Francesco; Speziali, Valeria; Buttler, Werner; Vogt, Holger
    On the design of a JFET-CMOS front-end for low-noise data acquisition from microstrip detectors
    In: Nuclear instruments and methods in physics research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment Jg. 264 (1988) Nr. 2-3, S. 391 - 398
    ISSN: 0167-5087
  • Vogt, Holger
    A technology concept for integrated detector electronics with CMOS-compatible devices
    In: Nuclear instruments and methods in physics research / A Jg. 253 (1987) Nr. 3, S. 434 - 438
    ISSN: 0168-9002
  • Belz, Joachim; Kaat, Erich H. te; Zimmer, Günter; Vogt, Holger
    Characterization of buried silicon-nitride formed by nitrogen implantation
    In: Nuclear instruments and methods in physics research / Section B, Beam interactions with materials and atoms Jg. 19/20 (1987) Nr. Part 1, S. 279 - 284
    ISSN: 0168-583X
  • Zimmer, Günter; Vogt, Holger
    Anwendung des Lasers zur Herstellung neuer Strukturen für die Mikroelektronik
    In: Laser und Optoelektronik Jg. 18 (1986) Nr. 1, S. 49 - 54
    ISSN: 0722-9003
  • Zimmer, Günter; Vogt, Holger
    CMOS on buried nitride - A VLSI SOI technology
    In: IEEE transactions on electron devices Jg. 30 (1983) Nr. 11, S. 1515 - 1520
    ISSN: 0018-9383
  • Zimmer, Günter; Vogt, Holger; Neubert, E.; Staks, P.
    VB-7 performance of buried nitride CMOS devices
    In: IEEE transactions on electron devices Jg. 30 (1983) Nr. 11, S. 1606 - 1607
    ISSN: 0018-9383
  • Hosticka, Bedrich; Kleine, Ulrich; Vogt, Holger; Zimmer, Günter
    DICMOS - novel MOS logic
    In: Electronics letters Jg. 18 (1982) Nr. 21, S. 930 - 932
    ISSN: 1350-911X
  • Zimmer, Günter; Fiedler, Horst-Lothar; Höfflinger, Bernd; Neubert, E.; Vogt, Holger
    Performance of a scaled Si gate n-well CMOS technology
    In: Electronics letters Jg. 17 (1981) Nr. 18, S. 666 - 667
    ISSN: 0013-5194
  • Abstracts

  • Türk, Semih; Viga, Reinhard; Vogt, Holger
    Diamond like carbon as a hydrophobic material for electrowetting
    In: 3rd YRA MedTech Symposium 2019 / 3rd YRA MedTech Symposium, May 24 2019, FH Aachen, Campus Jülich, Germany; / Staat, Manfred; Erni, Daniel (Hrsg.), (2019) S. 47 - 48
    ISBN: 978-3-940402-22-6
  • Beiträge in Sammelwerken und Tagungsbänden

  • Girgenrath, Lutz; Hofmann, Martin; Kühnhold, Ralf; Vogt, Holger
    Characterization of the Charge Transfer in an Enhanced Pinned Photodiode with a Collection Gate
    In: Optics, Photonics and Laser Technology 2017 / Ribeiro, Paulo; Andrews, David L.; Raposo, Maria (Hrsg.), 2019 S. 193 - 212
    ISBN: 978-3-030-12691-9; 978-3-030-12692-6
  • Haase, Jan; Beer, Maik; Schrey, Olaf; Ruskowski, Jennifer; Brockherde, Werner; Vogt, Holger
    Measurement concept for direct time-of-flight sensors at high ambient light
    In: Quantum Sensing and Nano Electronics and Photonics XVI / 16. Quantum Sensing and Nano Electronics and Photonics, 2.-7. February 2019, San Francisco, California, United States; / Razeghi, Manijeh (Hrsg.), 2019 S. 109260W-1 - 109260W-7
  • Türk, Semih; Jupe, Andreas; Viga, Reinhard; Vogt, Holger
    Analysis and simulation of super-hydrophobic layers for microfluidic applications
    In: Mikro-Nano-Integration: Beiträge des 7. GMM-Workshops, 22.-23. Oktober 2018 in Dortmund / 7. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, 22.-23. Oktober 2018, Dortmund, Germany; / Hoffmann, Martin (Hrsg.), 2018 S. 33 - 37
    ISBN: 978-3-8007-4789-4
  • Türk, Semih; Verheyen, Erik; Viga, Reinhard; Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Vogt, Holger
    Decreasing the Actuation Voltage in Electrowetting on Dielectric with Thin and Micro-Structured Dielectric
    In: PRIME 2018: 14th Conference on PhD Research in Microelectronics and Electronics / Conference on Ph.D. Research in Microelectronics and Electronics (PRIME), 14 (Prague) : 02.-05.07.2018 / 2018 S. 205 - 208
    ISBN: 978-1-5386-5387-6; 978-1-5386-5386-9; 978-1-5386-5388-3
  • Jupe, Andreas; Livshits, Pavel; Kahnert, Stefan; Figge, Martin; Mross, Stefan; Görtz, Michael; Kappert, H.; Vogt, Holger; Goehlich, Andreas
    Development of a Piezoelectric Flexural Plate-Wave (FPW) Biomems-Sensor for Rapid Point-of-Care Diagnostics
    In: Nanostructured Materials for the Detection of CBRN / NATO Advanced Research Workshop on Nanostructured Materials for the Detection of CBRN Kiev, Ukraine 14–17 August 2017; / Bonča, Janez; Kruchinin, Sergei (Hrsg.), 2018 S. 199 - 212
    ISBN: 978-94-024-1304-5; 978-94-024-1303-8
  • Dogan, Özgü; Mokwa, Wilfried; Mai, Lukas; Devi, Anjana; Vogt, Holger
    Die-level patterning of parylene F by Laser-Ablation for further Processing with ALD functional layers
    In: Proccedings of the International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems / Smart Systems Integration 2018 - 12th International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems; Dresden; Germany; 11 - 12 April 2018 / 2018 S. 392 - 395
    ISBN: 9783957350824
  • Weiler, Dirk; Hochschulz, Frank; Busch, Claudia; Stein, Matthias; Michel, Marvin D.; Kuhl, Andreas; Lerch, Renee; Petermann, Martin; Geruschke, Thomas; Blaeser, Sebastian; Weyers, Sascha; Vogt, Holger
    Digital uncooled IRFPAs based on microbolometers with 17 μm and 12 μm pixel pitch
    In: Electro-Optical and Infrared Systems: Technology and Applications XV / Electro-Optical and Infrared Systems: Technology and Applications, 12-13 September 2018, Berlin, Germany; / Huckridge, David; Bürsing, Helge; Hickman, Duncan L. (Hrsg.), 2018
    ISBN: 978-1-5106-2173-2; 978-1-5106-2174-9 ISSN: 1996-756X; 0277-786X
  • Willsch, Benjamin; Te Heesen, Marius; Hauser, Julia; Dreiner, Stefan; Kappert, Holger; Vogt, Holger
    Evaluation of a median threshold based EEPROM-PUF concept implemented in a high temperature SOI CMOS technology
    In: Proceedings of the13th IEEE International Conference on Design and Technology of Integrated Systems In Nanoscale Era, DTIS 2018 / DTIS 2018; Taormina; Italy; 10 April 2018 through 12 April 2018 / 2018 S. 1 - 6
    ISBN: 9781538652916
  • Weiler, Dirk; Hochschulz, Frank; Busch, Claudia; Stein, Matthias; Michel, Marvin D.; Würfel, Daniel; Lerch, Renee; Petermann, Martin; Geruschke, Thomas; Blaeser, Sebastian; Weyers, Sascha; Vogt, Holger
    High-performance uncooled digital 17 μm QVGA-IRFPA-using microbolometer based on amorphous silicon with massively parallel Sigma-Delta-ADC readout
    In: Proceedings of SPIE: The International Society for Optical Engineering / Infrared Technology and Applications XLIV 2018; Orlando; United States; 16 April 2018 through 19 April 2018 / Jg. 10624 2018 S. 1062419
    ISBN: 9781510617599 ISSN: 1996-756X; 0277-786X
  • Haase, Jan F.; Beer, Maik; Ruskowski, Jennifer; Vogt, Holger
    Multi object detection in direct Time-of-Flight measurements with SPADs
    In: PRIME 2018: 14th Conference on PhD Research in Microelectronics and Electronics / Conference on Ph.D. Research in Microelectronics and Electronics (PRIME), 14 (Prague) : 02.-05.07.2018 / 2018 S. 237 - 240
    ISBN: 978-1-5386-5387-6; 978-1-5386-5386-9; 978-1-5386-5388-3
  • Münchenberger, Finja M.; Dreiner, Stefan; Kappert, Holger; Vogt, Holger
    New concept for post-CMOS pellistor integration
    In: Mikro-Nano-Integration: Beiträge des 7. GMM-Workshops, 22.-23. Oktober 2018 in Dortmund / 7. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, 22.-23. Oktober 2018, Dortmund, Germany; Hoffmann, Martin / 2018 S. 28 - 32
    ISBN: 978-3-8007-4789-4
  • Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Utz, Alexander; Schaal, Christopher; Rustom, Amin; Kappert, Holger; Vogt, Holger
    Penetrating nanoelectrodes for an electrical cell interface on CMOS ASIC
    In: Mikro-Nano-Integration: Beiträge des 7. GMM-Workshops, 22.-23. Oktober 2018 in Dortmund / 7. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, 22.-23. Oktober 2018, Dortmund, Germany; Hoffmann, Martin / 2018 S. 7 - 12
    ISBN: 978-3-8007-4789-4
  • Walk, Christian; Dogan, Özgü; Görtz, Michael; Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
    Post-CMOS MEMS capacitive pressure sensor : Porous ALD membrane for sacrificial layer release and diaphragm sealing
    In: Proccedings of the 12th International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems / Smart Systems Integration 2018 - 12th International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems; Dresden; Germany; 11 - 12 April 2018 / 2018 S. 86 - 93
    ISBN: 9783957350824
  • Knauß, Anna M.; Münchenberger, Finja M.; Dietz, Dorothee; Jupe, Andreas; Kappert, Holger; Vogt, Holger
    Thin film ALD materials as functional layer for 3D-integrated metal oxide gas-sensors
    In: Mikro-Nano-Integration: Beiträge des 7. GMM-Workshops, 22.-23. Oktober 2018 in Dortmund / 7. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, 22.-23. Oktober 2018, Dortmund, Germany; Hoffmann, Martin / 2018 S. 68 - 73
    ISBN: 978-3-8007-4789-4
  • Walk, Christian; Görtz, Michael; Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
    A side-wall spacer process for releasing and sealing of post-CMOS MEMS pressure sensor membranes
    In: MEMS, Mikroelektronik, Systeme: proceedings / MikroSystemTechnik Kongress 2017, 23.-25. Oktober 2017 in München; / Kutter, Christoph (Hrsg.), 2017 S. 90 - 93
    ISBN: 978-3-8007-4491-6
  • Willsch, Benjamin; Hauser, Julia; Dreiner, Stefan; Goehlich, Andreas; Kappert, Holger; Vogt, Holger
    Analysis of semiconductor process variations by means of hierarchical median polish
    In: Proceedings - 2017 25th Austrian Workshop on Microelectronics, Austrochip 2017 / Austrochip 2017; Linz; Austria; 12 October 2017 / Jg. 2017-November 2017 S. 1 - 5
    ISBN: 9781538635834
  • Makhlouf, Mohamed; Goller, Diana; Gendrisch, Lutz; Kolnsberg, Stephan; Vogt, Franz; Utz, Alexander; Weiler, D.; Vogt, Holger
    Automating wafer-level test of uncooled infrared detectors using wafer-prober
    In: 2017 IEEE 23rd International Symposium on On-Line Testing and Robust System Design (IOLTS) / International Symposium on On-Line Testing and Robust System Design (IOLTS) ; 23. Thessaloniki, Greece, 03.–05.07.2017 / 2017 S. 13 - 16
    ISBN: 978-1-5386-0352-9; 978-1-5386-0351-2; 978-1-5386-0353-6
  • Schwinger, Alexander; Brockherde, Werner; Hosticka, Bedrich; Vogt, Holger
    CMOS SiPM with integrated amplifier
    In: Optical Components and Materials XIV / Optical Components and Materials <14, 2017, San Francisco, Calif> / SPIE OPTO <14, 2017, San Francisco, Calif.> / SPIE Photonics West <14, 2017, San Francisco, Calif.> / 2017
  • Walk, Christian; Vidovic, Nino; Görtz, Michael; Vogt, Holger
    Development of a patterning process for releasing and sealing of post-CMOS MEMS pressure sensor membranes
    In: Smart Systems Integration 2017: International Conference and Exhibition on the integration of materials, devices and systems / Smart Systems Integration 2017 : International Conference and Exhibition on the integration of materials, devices and systems ; Cork, Ireland, 8. - 9.3.2017 / Otto, Thomas; (Hrsg.), 2017 S. 306 - 313
    ISBN: 978-3-95735-057-2
  • Goller, Diana; Makhlouf, Mohamed; Utz, Alexander; Gendrisch, Lutz; Kolnsberg, Stephan; Vogt, Franz; Weiler, Dirk; Vogt, Holger
    Elektro-optische Charakterisierung von Ferninfrarot-Bildaufnehmern mittels Bauelementetest in der Serienproduktion
    In: MEMS, Mikroelektronik, Systeme: proceedings / MikroSystemTechnik Kongress 2017, 23.-25. Oktober 2017 in München; / Kutter, Christoph (Hrsg.), 2017 S. 468 - 471
    ISBN: 978-3-8007-4491-6
  • Willsch, Benjamin; Muller, Kai-Uwe; Zhang, Qi; Hauser, Julia; Dreiner, Stefan; Stanitzki, Alexander; Kappert, Holger; Kokozinski, Rainer; Vogt, Holger
    Implementation of an integrated differential readout circuit for transistor-based physically unclonable functions
    In: Proceedings of the 25th Austrian Workshop on Microelectronics, Austrochip 2017 / Austrochip 2017; Linz; Austria; 12 October 2017 / 2017 S. 58 - 63
    ISBN: 9781538635834
  • Girgenrath, Lutz; Hofmann, Martin; Kühnhold, Ralf; Vogt, Holger
    Optimization of transfer times in pinned photodiodes
    In: PHOTOPTICS 2017: Proceedings of the 5th International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology / 5th International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology : Porto, Portugal, February 27-March 1, 2017; / Raposo, Maria (Hrsg.), 2017 S. 312 - 316
    ISBN: 9789897582233
  • Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Figge, Martin; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger
    Tapering of nanoelectrodes for an intracellular contact via a double hard mask technique
    In: 13th Conference on PhD Research in Microelectronics and Electronics (PRIME): 14th International Conference on Synthesis, Modeling, Analysis and Simulation Methods and Applications to Circuit Design (SMACD) / Conference on Ph.D. Research in Microelectronics and Electronics (PRIME) ; 13. Taormina, Italy, 12.-15.06.2017 / 2017 S. 305 - 308
  • Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Figge, Martin; Goehlich, Andreas; Kappert, Holger; Vogt, Holger
    Untersuchung von dreidimensionalen Nanoelektroden für die intrazelluläre Kontaktierung auf integrierten Schaltungen
    In: MEMS, Mikroelektronik, Systeme: proceedings / MikroSystemTechnik Kongress 2017, 23.-25. Oktober 2017 in München; / Kutter, Christoph (Hrsg.), 2017 S. 540 - 543
    ISBN: 978-3-8007-4491-6
  • Dietz, Dorothee; Celik, Yusuf; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger
    ALD-based 3D-capacitors for harsh environments
    In: 12th Conference on Ph.D. Research in Microelectronics and Electronics (PRIME) / Conference on Ph.D. Research in Microelectronics and Electronics (PRIME) 12, 2016, Lisbon / 2016
  • Kahnert, Stefan; Schreiber, Fedor; Goehlich, Andreas; Greifendorf, Dieter; Lennartz, Klaus; Kirstein, Uwe; Bartels, Frank; Janzyk, Udo; Rennings, Andreas; Erni, Daniel; Küppers, Ralf; Vogt, Holger
    Digital microfluidics for microchip-based cell sorting
    In: Mikro-Nano-Integration: Beiträge des 6. GMM-Workshops, 5.-6. Oktober 2016 in Duisburg / GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration ; 6 (Duisburg) : 2016.10.05-06 / 2016 S. 17 - 21
    ISBN: 978-3-8007-4278-3
  • Goehlich, Andreas; Jupe, Andreas; Stühlmeyer, Martin; Celik, Yusuf; Schmidt, Andrei; Vogt, Holger
    Entwicklung eines piezoresistiven Drucksensors für Hochtemperaturanwendungen auf Basis eines SOI-Substrats
    In: Sensoren und Messsysteme 2016: 18. GMA/ITG-Fachtagung, Nürnberg Convention Center, 10. und 11. Mai 2016 : Tagungsband / GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme ; 18 (Nürnberg) : 2016.05.10-11 / 2016 S. 28 - 35
    ISBN: 978-3-9816876-0-6
  • Vogt, Holger; Altmann, Frank; Braun, Sebastian; Celik, Yusuf; Dietrich, Lothar; Dietz, Dorothee; Dijk, Marius van; Dreiner, Stefan; Döring, Ralf; Gabler, Felix; Goehlich, Andreas; Hutter, Matthias; Ihle, Martin; Kappert, Holger; Kordas, Norbert; Kokozinski, Rainer; Naumann, Falk; Nowak, Torsten; Oppermann, Hermann; Partsch, Uwe; Petzold, Matthias; Roscher, Frank; Rzepka, Sven; Schubert, Ralph; Weber, Constanze; Wiemer, Maik; Wittler, Olaf; Ziesche, Steffen
    HOT-300 – a multidisciplinary technology approach targeting microelectronic systems at 300 C operating temperature
    In: International Conference and Exhibition on High Temperature Electronics (HiTEC) 2016, Albuquerque: Additional Conferences (Device Packaging, HiTEC, HiTEN & CICMT) / International Conference and Exhibition on High Temperature Electronics (HiTEC) 2016, Albuquerque / 2016 S. 1 - 10
    ISSN: 2380-4491
  • Gabler, Felix; Roscher, Frank; Döring, Ralf; Otto, Alexander; Ziesche, Steffen; Ihle, Martin; Celik, Yusuf; Dietz, Dorothee; Goehlich, Andreas; Kappert, Holger; Vogt, Holger; Naumann, Falk; Gessner, Thomas
    Materials and technologies to enable high temperature stable MEMS and electronics for smart systems used in harsh environments
    In: China Semiconductor Technology International Conference 2016 (CSTIC) / China Semiconductor Technology International Conference 2016 / 2016
  • Muckensturm, Kai-Marcel; Weiler, Dirk; Hochschulz, Frank; Busch, Claudia; Geruschke, Thomas; Wall, Simone; Heß, Jennifer; Würfel, Daniel; Lerch, Renee; Vogt, Holger
    Measurement results of a 12 \u03bcm pixel size microbolometer array based on a novel thermally isolating structure using a 17 \u03bcm ROIC
    In: Infrared Technology and Applications XLII: 18-21 April 2016, Baltimore, Maryland, United States / Conference on Infrared Technology and Applications ; (Baltimore, Md.) : 2016.04.18-21; / Andresen, Bjørn F.; Fulop, Gabor F.; Hanson, Charles M. (Hrsg.), 2016 S. 98191N-1 - 98191N-9
  • Goehlich, Andreas; Vogt, Holger
    Nanostructures on CMOS -intelligent sensors and actuators by post processing
    In: Mikro-Nano-Integration: Beiträge des 6. GMM-Workshops, 5.-6. Oktober 2016 in Duisburg / GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration ; 6 (Duisburg) : 2016.10.05-06 / 2016 S. 182 - 187
    ISBN: 978-3-8007-4278-3
  • Jupe, Andreas; Figge, Martin; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger
    Post-CMOS integrated ALD 3D micro- and nanostructures and application for multi-electrode arrays
    In: Mikro-Nano-Integration: Beiträge des 6. GMM-Workshops, 5.-6. Oktober 2016 in Duisburg / GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration ; 6 (Duisburg) : 2016.10.05-06 / 2016 S. 115 - 118
    ISBN: 978-3-8007-4278-3
  • Stühlmeyer, Martin; Goehlich, Andreas; Figge, Martin; Vogt, Holger
    Post-CMOS integration of miniaturized solar cells for energy harvesting of autonomous sensor nodes
    In: Mikro-Nano-Integration: Beiträge des 6. GMM-Workshops, 5.-6. Oktober 2016 in Duisburg / GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration ; 6 (Duisburg) : 2016.10.05-06 / 2016 S. 151 - 155
    ISBN: 978-3-8007-4278-3
  • Willsch, Benjamin; Hauser, Julia; Dreiner, Stefan; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger
    Statistical tests to determine spatial correlations in the response behavior of PUFs
    In: 12th Conference on Ph.D. Research in Microelectronics and Electronics (PRIME): Conference on Ph.D. Research in Microelectronics and Electronics (PRIME) 12, 2016, Lisbon 2016
  • Muckensturm, Kai-Marcel; Weiler, Dirk; Hochschulz, Frank; Busch, Claudia; Geruschke, Thomas; Wall, Simone; Hess, Jennifer; Lerch, Renee; Würfel, Daniel; Vogt, Holger
    Ungekühlte Mikrobolometer-Arrays basierend auf einer neuartigen thermisch isolierenden Struktur
    In: Sensoren und Messsysteme 2016: 18. GMA/ITG-Fachtagung, Nürnberg Convention Center, 10. und 11. Mai 2016 : Tagungsband / GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme ; 18 (Nürnberg) : 2016.05.10-11 / 2016 S. 242 - 248
    ISBN: 978-3-9816876-0-6
  • Jupe, Andreas; Goehlich, Andreas; Feizi, Khadijeh; Vogt, Holger
    ALD-basierte, monolithisch integrierte 3D-Nanostrukturen
    In: MEMS, Mikroelemente, Systeme: MikroSystemTechnik Kongress 2015 ; 26. - 28. Oktober 2015 in Karlsruhe ; proceedings / Saile, Volker (Hrsg.), 2015 S. 405 - 408
    ISBN: 978-3-8007-4100-7
  • Schmidt, Andrei; Dreiner, Stefan; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
    Beschleunigte Zuverlässigkeitsuntersuchung von Siliziumnitrid bei schmalbandiger UV-Bestrahlung
    In: MEMS, Mikroelemente, Systeme: MikroSystemTechnik Kongress 2015 ; 26. - 28. Oktober 2015 in Karlsruhe ; proceedings / Saile, Volker (Hrsg.), 2015 S. 753 - 756
    ISBN: 978-3-8007-4100-7
  • Goehlich, Andreas; Stühlmeyer, Martin; Vogt, Holger
    CMOS integrated miniaturized photovoltaic cells for autonomous sensor nodes: simulations and experimental results
    In: Proceedings / AMA Conferences 2015: SENSOR 2015 - IRS2 2015 ; Nuremberg Exhibition Center, Germany, 19. - 21.5.2015 2015
    ISBN: 978-3-9813484-8-4
  • Goehlich, Andreas; Jupe, Andreas; Stühlmeyer, Martin; Celik, Yusuf; Schmidt, Alexander; Vogt, Holger
    Charakterisierung und Modellierung freistehender Silizium Membranen auf SOI-Basis für Drucksensor-Anwendungen
    In: MEMS, Mikroelemente, Systeme: MikroSystemTechnik Kongress 2015 ; 26. - 28. Oktober 2015 in Karlsruhe ; proceedings / Saile, Volker (Hrsg.), 2015 S. 610 - 613
    ISBN: 978-3-8007-4100-7
  • Kahnert, Stefan; Schreiber, Fedor; Erni, Daniel; Greifendorf, Dieter; Lennartz, Klaus; Kirstein, Uwe; Bartels, Frank; Janzyk, Udo; Rennings, Andreas; Küppers, Ralf; Vogt, Holger
    Entwicklung einer Mikrochip navigierten Zellsortieranlage
    In: MEMS, Mikroelemente, Systeme / MikroSystemTechnik Kongress 2015 ; 26. - 28. Oktober 2015 in Karlsruhe / 2015 S. 463 - 466
    ISBN: 978-3-8007-4100-7
  • Dietz, Dorothee; Celik, Yusuf; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger; Kappert, Holger
    Entwicklung von Hochtemperatur Trench-Kondensatoren unter Verwendung von dünnen ALD-Dielektrika
    In: MEMS, Mikroelemente, Systeme: MikroSystemTechnik Kongress 2015 ; 26. - 28. Oktober 2015 in Karlsruhe ; proceedings / Saile, Volker (Hrsg.), 2015 S. 425 - 428
    ISBN: 978-3-8007-4100-7
  • Kelberer, Andreas; Dreiner, Stefan; Grella, Katharina; Dittrich, Dirk; Kappert, Holger; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
    Experimental reliability studies and SPICE simulation for EEPROM at temperatures up to 450°C
    In: International Conference on High Temperature Electronics Network (HiTEN 2015) 2015 S. 5 - 9
    ISBN: 978-1-5108-1033-4
  • Walk, Christian; Goehlich, Andreas; Giese, Andre; Görtz, Michael; Vogt, Holger; Kraft, Michael
    Investigation of diaphragm deflection of an absolute MEMS capacitive polysilicon pressure sensor
    In: Smart Sensors, Actuators, and MEMS VII; and Cyber Physical Systems: Barcelona, Spain ; May 4th 2015 / Sánchez-Rojas, José Luis; Brama, Riccardo (Hrsg.), 2015
  • Driewer, Adrian; Hosticka, Bedrich; Spickermann, Andreas; Vogt, Holger
    Modeling of CMOS image sensors for time-of-flight applications
    In: Optical Sensors 2015 2015 S. 950603-1 - 950603-9
  • Schmidt, Andrei; Dreiner, Stefan; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
    Thin-film SOI PIN-diode leakage current dependence on back-gate-potential and HCI traps
    In: 45th European Solid State Device Research Conference (ESSDERC): Graz, Austria, 14-18 September 2015 2015 S. 290 - 293
    ISBN: 978-1-4673-7133-9; 978-1-4673-7135-3
  • Weiler, Dirk; Hochschulz, Frank; Würfel, Daniel; Lerch, Renee G.; Geruschke, Thomas; Wall, Simone; Heß, Jennifer; Wang, Qiang; Vogt, Holger
    Uncooled digital QVGA-IRFPA with 17 µm pixel-pitch based on amorphous silicon with massively Sigma-Delta-ADC readout
    In: 42th Freiburg Infrared Colloquium: 03.-03.03.2015 2015 S. 39 - 40
  • Poklonskaya, Elena; Durini, Daniel; Jung, Melanie; Schrey, Olaf; Driewer, Adrian; Brockherde, Werner; Hosticka, Bedrich; Vogt, Holger
    Performance analysis of a large photoactive area CMOS line sensor for fast, time-resolved spectroscopy applications
    In: Optical sensing and detection III : 14 - 17 April 2014, Brussels, Belgium / Berghmans, Francis (Hrsg.), 2014 S. 914103
    ISBN: 978-1-62841-089-1
  • Weiler, Dirk; Hochschulz, Frank; Würfel, Daniel; Lerch, Renee G.; Geruschke, Thomas; Wall, Simone; Heß, Jennifer; Wang, Qiang; Vogt, Holger
    Uncooled digital IRFPA-family with 17µm pixel-pitch based on amorphous silicon with massively parallel Sigma-Delta-ADC readout
    In: Infrared technology and applications XL: 5 - 8 May 2014, Baltimore, Maryland, United States / Andresen, Bjørn F. (Hrsg.), 2014
    ISBN: 978-1-6284-10075
  • Burmester, Kim; Goehlich, Andreas; Celik, Yusuf; Schmidt, Alexander; Klieber, Robert; Haas, Norbert; Greifendorf, Dieter; Vogt, Holger
    CMOS integrated free standing circular membrane for the detection of allergens and biomarkers
    In: Von Bauelementen zu Systemen: Mikrosystemtechnik Kongress 2013, 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen : Proceedings 2013 S. 822 - 825
    ISBN: 978-3-8007-3555-6
  • Jupe, Andreas; Goehlich, Andreas; Meißner, Frank; Endler, Ingolf; Vogt, Holger
    CMOS kompatible, nanomodifizierte Multi-Elektroden-Arrays
    In: Von Bauelementen zu Systemen: Mikrosystemtechnik Kongress 2013, 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen : Proceedings / Mokwa, Wilfried (Hrsg.), 2013 S. 592 - 595
    ISBN: 978-3-8007-3555-6
  • Goehlich, Andreas; Burmester, Kim; Celik, Yusuf; Klieber, Robert; Greifendorf, Dieter; Haas, Norbert; Vogt, Holger
    Development of an universial allergen sensor system
    In: AMA Conferences 2013 Proceedings: Nürnberg Exhibition Centre, Germany, 14. – 16. 5. 2013 ; with SENSOR, OPTO, IRS² 2013 S. 540 - 545
    ISBN: 978-3-9813484-3-9
  • Celik, Yusuf; Goehlich, Andreas; Jupe, Andreas; Vogt, Holger
    Entwicklung eines hochtemperaturfesten Kondensators für die Mikrosystemtechnik
    In: Von Bauelementen zu Systemen: Mikrosystemtechnik Kongress 2013, 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen : Proceedings 2013 S. 834 - 836
    ISBN: 978-3-8007-3555-6
  • Weiler, Dirk; Ruß, Marco; Würfel, Daniel; Lerch, Renee G.; Hochschulz, Frank; Wang, Qiang; Geruschke, Thomas; Heß, Jennifer; Vogt, Holger
    Far infrared digital IRFPA based on uncooled microbolometer for automotive and military applications
    In: 41th Freiburg Infrared Colloquium: 26.-27.02.2013 2013
  • Heiermann, Wolfgang; Geruschke, Thomas; Ruß, Marco; Vogt, Holger
    Flip-Chip Technologie für Anwendungstemperaturen > 250 °C
    In: Von Bauelementen zu Systemen: Mikrosystemtechnik Kongress 2013, 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen 2013 S. 709 - 712
    ISBN: 978-3-8007-3555-6
  • Grella, Katharina; Dreiner, Stefan; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
    High temperature reliability investigations up to 350 °C of gate oxide capacitors realized in a Silicon-on-Insulator CMOS-technology
    In: International Conference and Exhibition on High Temperature Electronics Network (HiTEN 2013): Oxford, United Kingdom, 8 - 10 July 2013 2013 S. 116 - 121
    ISBN: 978-1-63439-114-6
  • Süss, Andreas; Nitta, Christian; Spickermann, Andreas; Durini, Daniel; Varga, Gabor; Jung, Melanie; Brockherde, Werner; Hosticka, Bedrich; Vogt, Holger; Schwope, Stefan
    Speed considerations for LDPD based time-of-flight CMOS 3D image sensors
    In: Proceedings of the ESSCIRC (ESSCIRC), 2013 / (ESSCIRC), 16 - 20 Sept. 2013, Bucharest; / Rusu, Ştefan (Hrsg.), 2013 S. 299 - 302
    ISBN: 978-1-4799-0642-0; 978-1-4799-0643-7; 978-1-4799-0648-2
  • Görtz, Michael; Betz, W.; Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger; Kraft, Michael
    Verkapselungstechniken für implantierbare integrierte MEMS Drucksensoren
    In: Von Bauelementen zu Systemen: Mikrosystemtechnik Kongress 2013, 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen 2013 S. 586 - 587
    ISBN: 978-3-8007-3555-6
  • Süss, Andreas; Hosticka, Bedrich; Vogt, Holger
    Adaptive readout circuit for pinned and lateral drift-field photo diodes
    In: PRIME 2012: 8th Conference on Ph.D. Research in Microelectronics & Electronics, 12 - 15 Juni 2012, Aachen, Germany / Heinen, Stefan (Hrsg.), 2012 S. 333 - 336
    ISBN: 978-3-8007-3442-9
  • Jupe, Andreas; Hoeren, André; Goehlich, Andreas; Meißner, Frank; Endler, Ingolf; Vogt, Holger
    Direct integration of carbon nanotubes on CMOS with high-temperature tungsten metallization
    In: Mikro-Nano-Integration: Beiträge des 4. GMM-Workshops, 12. - 13. November 2012 in Berlin / Hoffmann, Martin (Hrsg.), 2012
    ISBN: 978-3-8007-3473-3
  • Förster, Jan; Schüttler, Dennis; Vogt, Holger
    Excimer laser annealing of amorphous silicon-germanium layers for above IC processing
    In: PRIME 2012: 8th Conference on Ph.D. Research in Microelectronics & Electronics / 8th Conference on Ph.D. Research in Microelectronics & Electronics (PRIME), 12 - 15 Juni 2012, Aachen, Germany / Heinen, Stefan; (Hrsg.), 2012 S. 267 - 270
    ISBN: 978-3-8007-3442-9
  • Grella, Katharina; Dreiner, Stefan; Schmidt, Alexander; Heiermann, Wolfgang; Kappert, Holger; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
    High temperature characterization up to 450 °C of MOSFETs and basic circuits realized in a Silicon-on-Insulator (SOI) CMOS-technology
    In: International Conference and Tabletop Exhibition on High Temperature Electronics 2012 (HiTEC 20112): Albuquerque, New Mexico, USA, 8 - 10 May 2012 2012 S. 227 - 232
    ISBN: 978-1-62748-103-8
  • Heiermann, Wolfgang; Heß, Jennifer; Geruschke, Thomas; Bauer, Jochen; Ruß, Marco; Kappert, Holger; Vogt, Holger
    Process window of thermosonic palladium wire bonding on electroplated gold layers for high temperature applications
    In: MiNaPAD Forum 2012: Micro/Nano-Electronics Packaging & Assembly, Design and Manufacturing Forum ; 2. Grenoble, France, 25.-26.04.2012, proceedings 2012
  • Heiermann, Wolfgang; Geruschke, Thomas; Grella, Katharina; Bartsch, M.; Borrmann, Thomas; Ruß, Marco; Vogt, Holger
    Reliability of thermosonic bonded palladium wires in high temperature environments up to 350 °C
    In: 23rd Micromechanics and Microsystems Europe Workshop: MME 2012 Ilmenau, September 9 - 12, Ilmenau, Germany ; proceedings / Scharff, Peter; Schneider, Andrea (Hrsg.), 2012
    ISBN: 978-3-938843-71-0
  • Heß, Jennifer; Vogt, Holger
    Sacrificial ion beam etching process for seed layer removal of 6 µm pitch CuSn micro bumps
    In: More than Moore : Novel materials approaches for functionalized silicon based microelectronics: E-MRS 2012 Spring meeting, symposium M ; 2012. Strasbourg, France, 14.-18.05.2012 2012
  • Vogt, Holger; Weiler, Dirk
    Thermal Imagers based on uncooled microbolometers
    In: 6th Fraunhofer IMS Workshop CMOS Imaging: Duisburg, Germany, 12.-13.06.2011 2012
  • Weiler, Dirk; Ruß, Marco; Würfel, Daniel; Lerch, Renee G.; Yang, Pin; Bauer, Jochen; Kropelnicki, Piotr; Heß, Jennifer; Vogt, Holger
    A far infrared VGA detector based on uncooled microbolometers for automotive applications
    In: Advanced Microsystems for Automotive Applications 2011: Smart Systems for Electric, Safe and Networked Mobility / Meyer, Gereon; Valldorf, Jürgen (Hrsg.), 2011 S. 327 - 334
    ISBN: 978-3-642-21380-9; 978-3-642-21381-6
  • Goehlich, Andreas; Jonville, Carole; Klieber, Robert; Mao, Xing; Martens, Kim; Jansen, Timo; Trieu, Hoc-Khiem; Vogt, Holger
    A novel mass sensitive sensor
    In: Mikrosystemtechnik Kongress 2011: Proceedings ; 10. - 12. Oktober 2011, Darmstadt / Schlaak, Helmut F. (Hrsg.), 2011 S. 54 - 57
    ISBN: 978-3-8007-3367-5
  • Utz, Alexander; Gendrisch, Lutz; Brögger, Dirk; Weiler, Dirk; Vogt, Holger
    Bestimmung der NETD von Fern-Infrarot Imagern auf Wafer-Level unter Umgebungsdruck in der Serienproduktion
    In: Mikrosystemtechnik Kongress 2011: Proceedings ; 10. - 12. Oktober 2011, Darmstadt / Schlaak, Helmut F. (Hrsg.), 2011 S. 165 - 168
    ISBN: 978-3-8007-3367-5
  • Hochschulz, Frank; Dreiner, Stefan; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
    CMOS photodiodes for narrow linewidth applications
    In: IEEE Sensors Proceedings 2011: Limerick, Ireland, 28 - 31 October 2011 ; [the Tenth IEEE Sensors Conference 2011] 2011 S. 1600 - 1603
    ISBN: 978-1-4244-9290-9
  • Weiler, Dirk; Ruß, Marco; Würfel, Daniel; Lerch, Renee G.; Yang, Pin; Bauer, Jochen; Heß, Jennifer; Kropelnicki, Piotr; Vogt, Holger
    Development of an uncooled 25µm pixel-pitch VGA-IRFPA
    In: 40th Freiburg Infrared Colloquium: 16.-17.02.2011 2011
  • Förster, Jan; Vogt, Holger
    Excimer laser-annealing of amorphous silicon layers
    In: COMSOL Conference, Stuttgart 2011: proceedings / COMSOL Conference, Stuttgart, 26.-28.10.2011 / 2011
    ISBN: 978-0-9839688-0-1
  • Grella, Katharina; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
    High temperature reliability investigations of EEPROM memory cells realised in Silicon-on-Insulator (SOI) technology
    In: International Conference and Tabletop Exhibition on High Temperature Electronics Network (HiTEN 2011): Oxford, United Kingdom, 18 - 20 June 2011 2011 S. 221 - 225
  • Weiler, Dirk; Ruß, Marco; Lerch, Renee G.; Yang, Pin; Bauer, Jochen; Heß, Jennifer; Kropelnicki, Piotr; Vogt, Holger
    Improvements of a digital 25µm pixel-pitch uncooled amorphous silicon TEC-less VGA IRFPA with massively parallel Sigma-Delta- ADC readout
    In: Infrared technology and applications XXXVII: 25 - 29 April 2011, Orlando, Florida, United States / Andresen, Bjørn F. (Hrsg.), 2011
    ISBN: 978-0-8194-8586-1
  • Hochschulz, Frank; Paschen, Uwe; Vogt, Holger
    Multiphysics simulations for the optimisation of CMOS processes for high precision optical measurement applications
    In: Multiphysics simulations - advanced methods for industrial engineering: Selected contributions from 1st Fraunhofer Multiphysics Conference / 1st Fraunhofer Multiphysics Conference, 22.-23.06.2010, Bonn, Germany / 2011 S. 239 - 249
    ISBN: 978-1-907132-36-0
  • Utz, Alexander; Gendrisch, Lutz; Weiler, Dirk; Kolnsberg, Stephan; Vogt, Holger
    Simulation method for LWIR radiation distribution using a visual ray-tracer
    In: 11th International Conference on Numerical Simulation of Optoelectronic Devices (NUSOD), 2011: 5 - 8 Sept. 2011, Rome, Italy / Piprek, Joachim (Hrsg.), 2011 S. 57 - 58
    ISBN: 978-1-61284-876-1; 978-1-61284-878-5
  • Hennig, Andreas; Vom Bögel, Gerd; Grabmaier, Anton; Vogt, Holger
    Telemetrisches Drucksensorsystem zur kontinuierlichen Blutdruckmessung im Herzen
    In: Tagungsband / Kongress für Technologien in der Medizin und Energieeffizienz in Kliniken: Würzburg, 23. - 25. Mai 2011 / Nippa, Jürgen (Hrsg.), 2011 S. 53 - 60
    ISBN: 978-3-937988-12-2
  • Weiler, Dirk; Ruß, Marco; Würfel, Daniel; Lerch, Renee G.; Yang, Pin; Bauer, Jochen; Vogt, Holger
    A digital 25 µm pixel-pitch uncooled amorphous silicon TEC-less VGA IRFPA with massive parallel Sigma-Delta-ADC readout
    In: Infrared technology and applications XXXVI: 5 - 9 April 2010, Orlando, Florida, United States / Andresen, Bjørn F. (Hrsg.), 2010
    ISBN: 978-0-8194-8124-5
  • Kropelnicki, Piotr; Vogt, Holger
    A new DC-temperature model for a diode bolometer based on SOI-pin-diode test structures
    In: XIth International Workshop on Symbolic and Numerical Methods, Modeling and Applications to Circuit Design (SM2ACD), 2010 2010
    ISBN: 978-1-4244-6815-7
  • Hochschulz, Frank; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
    CMOS process enhancement for high precision narrow linewidth applications
    In: Proceedings of the European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC), 2010 : 14 - 16 Sept. 2010, Sevilla, Spain: Co-located with the 36th European Solid-State Circuits Conference (ESSCIRC 2010) 2010 S. 254 - 256
    ISBN: 978-1-4244-6660-3; 978-1-4244-6658-0
  • Vogt, Holger; Durini, Daniel
    Devices and technologies for CMOS imaging
    In: 5th Fraunhofer IMS Workshop CMOS Imaging: Duisburg, Germany, 12.-13.06.2011 2010
  • Bauer, Jochen; Weiler, Dirk; Ruß, Marco; Heß, Jennifer; Yang, Pin; Voß, Jürgen; Arnold, Norbert; Vogt, Holger
    Fabrication method for chip-scale-vacuum-packages based on a chip-to-wafer-process
    In: Electro-optical and infrared systems: technology and applications VII: 21 - 23 September 2010, Toulouse, France 2010
    ISBN: 978-0-8194-8352-2
  • Förster, Jan; Vogt, Holger; Grabmaier, Anton
    Investigation of the temperature coefficient of electrical resistance and 1/f noise of laser-annealed amorphous silicon layers
    In: 18th IEEE International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors (RTP) 2010: Sept. 18, 2010 - Oct. 1, 2010, Hilton University of Florida Conference Center in Gainesville, FL / Lojek, Bo (Hrsg.), 2010 S. 104 - 109
    ISBN: 978-1-4244-8399-0; 978-1-4244-8393-3
  • Uhlemann, A.; Aal, A.; Vogt, Holger
    A fast WLR test for the evaluation of EEPROM endurance
    In: IEEE International Integrated Reliability Workshop final report, 2009: Stanford Sierra Conference Center, S. Lake Tahoe, California, October 18-22, 2009 2009 S. 20 - 24
    ISBN: 978-1-4244-3921-8; 978-1-4244-3922-5
  • Vogt, Holger
    CMOS Post-Processing für kompakte, intelligente Mikrosysteme
    In: Proceedings / MikroSystemTechnik-Kongress 2009: 12. - 14. Oktober 2009, Berlin 2009
    ISBN: 978-3-8007-3183-1
  • Betz, Wolfgang; Trieu, Hoc-Khiem; Vogt, Holger
    In-vitro tests for biostability of materials for micro implants
    In: MME 2009: 20th Micromechanics Europe Workshop; 20. Toulouse, France, 20 - 22 September 2009 2009
  • Durini, Daniel; Dreiner, Stefan; Vogt, Holger
    Indium-Tin-Oxide (ITO) layer integration in single-polysilicon standard CMOS processes to improve the CTE in photogate pixels
    In: Proceedings of the EOS Conferences at the World of Photonics Congress 2009: ICM, International Congress Centre Munich, Germany ; digest CD-ROM contents: frontiers in electronic imaging, 15 to 16 June 2009 [and] manufacturing of optical components, 15 to 17 June 2009 2009
    ISBN: 978-3-00-024190-1
  • Sommer, Sebastian P.; Paschen, Uwe; Figge, Martin; Vogt, Holger
    Light switched plasma charging damage protection device allowing high field characterization
    In: Proceedings of ESSCIRC, 2009 : 14 - 18 Sept. 2009, Athens, Greece: Co-located with the 39th European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC 2009) 2009 S. 181 - 184
    ISBN: 978-1-4244-4353-6; 978-1-4244-4354-3
  • Kropelnicki, Piotr; Vogt, Holger
    Monocrystalline diode bolometer made by low temperature direct wafer bonding
    In: WaferBond '09: Conference on Wafer Bonding for Microsystems, 3D- and Wafer Level Integration ; 2009, Grenoble, France, 06.-08.12.2009 : Book of abstracts 2009 S. 83 - 84
  • Vogt, Holger; Vogt, Hendrik
    Simulation des Laserabgleichs von Dünnfilmwiderständen mit Widerstandsnetzwerk im Schaltungssimulator
    In: Proceedings / MikroSystemTechnik-Kongress 2009: 12. - 14. Oktober 2009, Berlin 2009 S. P8.18
    ISBN: 978-3-8007-3183-1
  • Vogt, Holger
    Films - ein Programm zur Simulation von AR-Schichten
    In: Oberflächentechnik für die Praxis: Plenarvorträge, Kurzvorträge, Posterzusammenfassungen ; Jena, 16. - 18. September 2008 : 4. Thüringer Grenz- und Oberflächentage & 1. Thüringer Kolloquium "Dünne Schichten in der Optik" 2008 S. 282 - 283
    ISBN: 978-3-00-025424-6
  • Sommer, Sebastian P.; Paschen, Uwe; Vogt, Holger
    Positive charge trapping induced by plasma charging damage in NMOS transistors
    In: Proceedings of the 38th European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC) ; Edinburgh, Scotland, UK, 15 - 19 September 2008: Co-located with the 34th European Solid-State Circuits Conference (ESSCIRC 2008) / Hall, Stephen (Hrsg.), 2008 S. P28
    ISBN: 978-1-4244-2363-7
  • Ruß, Marco; Bauer, Jochen; Vogt, Holger
    The geometric design of microbolometer elements for uncooled focal plane arrays
    In: Infrared technology and applications XXXIII: 9 - 13 April 2007, Orlando, Florida, USA 2007 S. 654223
    ISBN: 978-0-8194-6664-8
  • Vogt, Holger
    SPICE modeling of resistive, diode, and pyroelectric bolometer cells
    In: Infrared technology and applications XXXII: 17 - 21 April 2006, Kissimmee, Florida, USA / Andresen, Bjørn F. (Hrsg.), 2006
    ISBN: 0-8194-6262-4
  • Vogt, Holger
    A new method to determine the tool count of a semiconductor factory using FabSim
    In: Proceedings of the 2004 Winter Simulation Conference: December 5 - 8, 2004, Washington, D.C., USA ; vol. 2 / Ingalls, Ricki G. (Hrsg.), 2004 S. 1925 - 1929
    ISBN: 0-7803-8787-2
  • Trieu, Hoc-Khiem; Köster, Oliver; Vogt, Holger
    Cost-effective test, calibration and assembly infrastructure for turnkey integrated pressure sensors
    In: COMS 2004, the 9th International Conference on the Commercialization of Micro and Nano Systems: Edmonton, Canada, 29.08.-02.09.2004 2004 S. 340 - 346
  • Vogt, Holger
    Medizinelektronik: Fraunhofer-Institut Mikroelektronische Schaltungen und Systeme
    In: Workshop Medizintechnik in der Fraunhofer-Gesellschaft: Berlin, Germany, 12.11.2004 2004 S. 223 - 232
  • Vogt, Holger
    Discrete-event simulation using SystemC: interactive semiconductor factory modeling with FabSim
    In: Proceedings of the 2003 Winter Simulation Conference: WSC'03; December 7 - 10, 2003, New Orleans, LA, USA ; vol. 2 2003 S. 1383 - 1387
    ISBN: 0-7803-8131-9
  • Vogt, Holger
    Synchronous discrete event simulation for fast and efficient simulation of a complete semiconductor factory
    In: Advancing the science of semiconductor manufacturing excellence: ASMC 2003 Proceedings ; 2003 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop, 31 March - 1 April 2003, Munich, Germany 2003 S. 89 - 95
    ISBN: 0-7803-7673-0
  • Hariadi, Ihsan; Trieu, Hoc-Khiem; Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
    Integrated flow sensor with monocrystalline silicon membrane operating in Thermal Time-of-Flight mode
    In: Proceedings - Eurosensors XVI: Prague, Czech Republic, September 15 - 18, 2002 / Saneistr, Jiri; Ripka, Pavel (Hrsg.), 2002 S. 715 - 716
  • Sauerland, Frank; Paschen, Uwe; Vogt, Holger
    Investigation of the spatial distribution of current density and heat dissipation in high-power-semiconductor devices
    In: Area array packaging technologies: International workshop ; 4., Berlin, Germany, 22.-23.04.2002 2002
  • Hariadi, Ihsan; Trieu, Hoc-Khiem; Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
    Investigations on silicon thermal flow sensors with mesa structures
    In: Proceedings - Eurosensors XVI: Prague, Czech Republic, September 15 - 18, 2002 / Saneistr, Jiri; Ripka, Pavel (Hrsg.), 2002 S. 717 - 718
  • Hariadi, Ihsan; Trieu, Hoc-Khiem; Vogt, Holger
    Modelling of microsystem flow sensor based on thermal time-of-flight mode
    In: Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002: 6 - 8 May 2002, Cannes, France / Courtois, Bernard (Hrsg.), 2002 S. 83 - 96
    ISBN: 0-8194-4518-5
  • Köster, Oliver; Schuhmann, Wolfgang; Vogt, Holger; Mokwa, Wilfried
    Investigation of the properties of a single-chip potentiostat supporting three electrode cells for its operation with voltammetric and AC modes
    In: International Symposium on Electrochemical Microsystem Technologies: 3. Garmisch-Partenkirchen, Germany, 10.-15.09.2000 : Program and abstracts 2000 S. 41
  • Köster, Oliver; Schuhmann, Wolfgang; Vogt, Holger; Mokwa, Wilfried
    On the determination of standard rate constants using ultra-microelectrode arrays and electrochemical impedance spectroscopy at low frequencies
    In: Electroanalysis: abstracts of the 8th international conference held from 11 to 15 June 2000 at the University of Bonn, Germany / Emons, Hendrik; Ostapczuk, Peter (Hrsg.), 2000
    ISBN: 3-89336-261-4
  • Köster, Oliver; Schuhmann, Wolfgang; Vogt, Holger; Mokwa, Wilfried
    Quality control of ultra-microelectrode arrays using cyclic voltammetry, electrochemical impedance spectroscopy and scanning electrochemical microscopy
    In: 8th International Meeting on Chemical Sensors (IMCS-8): Abstract book 2000 S. 174
  • Paschen, Uwe; Weyers, Joachim; van Bentum, Ralf; Steck, Beate; Vogt, Franz P.; Vogt, Holger
    Smart power integration on SOI: thin and thick film (local) SOI processes and devices
    In: CIPS 2000: International Conference on Integrated Power Systems, June 20 - 21, 2000, Bremen, Germany 2000 S. 20 - 29
    ISBN: 3-8007-2560-6
  • van Bentum, Ralf; Vogt, Holger
    Structural characterization of local SIMOX-substrates
    In: 1998 IEEE International SOI Conference proceedings: October 5 - 8, 1998, Stuart, Florida 1998 S. 49 - 50
    ISBN: 0-7803-4500-2
  • Radecker, Matthias; Fiedler, Horst-Lothar; Vogt, Franz P.; Vogt, Holger
    Single-chip class-E converter for compact fluorescent lamp ballast
    In: IEEE International Solid-State Circuits Conference 44 <1997, San Francisco, Calif.>: Digest of technical papers 1997 S. 378 - 379
    ISBN: 0-7803-3721-2; 0-7803-3722-0; 0-7803-3724-7
  • Vogt, Franz P.; Vogt, Holger; Radecker, Matthias; Fiedler, Horst-Lothar
    Smart power with 1200V DMOS
    In: 1997 IEEE International Symposium on Power Semiconductor Devices and ICs (ISPSD '97): lectures held at the ETG-Conference, May 26-29, 1997 in Weimar, Germany 1997 S. 317 - 320
    ISBN: 0-7803-3993-2; 0-7803-3994-0; 0-7803-3995-9
  • Aslam-Siddiqi, Amer; Brockherde, Werner; Hosticka, Bedrich; Vogt, Holger; Zimmer, Günter
    A CMOS image sensor with combined analog nonvolatile storage capability
    In: Technical digest / International Electron Devices Meeting 1996: San Francisco, CA, December 8 - 11, 1996 1996 S. 923 - 926
    ISBN: 0-7803-3393-4; 0-7803-3394-2
  • Vogt, Franz P.; Vogt, Holger; Brücker, Johannes; Zimmermann, Christoph; Richter, Frank
    An intelligent vertical trench DMOS on SIMOX-substrate
    In: Proceedings / 8th International Symposium on Power Semiconductor Devices and ICs, ISPSD '96, May 20 - 22, 1996, Maui, Hawaii, USA / Salama, C. A. T. (Hrsg.), 1996 S. 177 - 180
    ISBN: 0-7803-3106-0; 0-7803-3332-2
  • Zimmermann, Christoph; Fiedler, Horst-Lothar; Vogt, Franz P.; Vogt, Holger; Müsch, E.
    Ein monolithischer PWM-Dimmer für Automobilanwendungen in SIMOX-Technologie
    In: Mikroelektronik: Vorträge der GME-Fachtagung vom 20. bis 22. März 1995 in Baden-Baden / Barke, Erich; GME-Fachtagung ; (Baden-Baden) : 1995.03.20-22 / 1995 S. 393 - 398
    ISBN: 3-8007-2085-X; 978-3-8007-2085-9
  • Dura, Heinz-Georg; Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
    Qualitätssicherungsstrategie bei der Kleinserienfertigung von Wasserstoffsensoren auf der Basis von MOS-Bauelementen
    In: Tagungsband zur Forschungstagung Qualität '95 1995 S. 159 - 166
    ISBN: 3-410-32874-2
  • Vogt, Holger
    Advantages and potential of SOI structures for smart sensors
    In: Proceedings of the Sixth International Symposium on Silicon-On-Insulator Technology and Devices / Cristoloveanu, Sorin (Hrsg.), 1994 S. 430 - 440
    ISBN: 1-56677-043-2
  • Gassel, Helmut; Vogt, Holger
    Improvement of SIMOX buried oxide breakdown voltage by multiple step and multiple energy implantation
    In: International Symposium on Silicon-On-Insulator Technology and Devices 6, 1993, San Francisco, Calif.: Proceedings 1994 S. 357 - 366
    ISBN: 1-56677-043-2
  • Buttler, Werner; Cesura, G.; Manfredi, Pier Francesco; Re, V.; Speziali, Valeria; Burbach, Gert; Vogt, Holger
    A bulk-JFET and CMOS/SIMOX technology for low noise, high speed charge-sensitive amplifier
    In: 1993 IEEE International SOI Conference Proceedings: October 5-7, 1993, the Autry Resort, Palm Springs, California / Scott, John (Hrsg.), 1993 S. 186 - 187
    ISBN: 0-7803-1346-1
  • Mütterlein, Bernward; Vogt, Franz P.; Weyers, Joachim; Vogt, Holger
    An intelligent 600 V vertical IGBT on SIMOX substrate
    In: Proceedings of the 23rd European Solid State Device Research Conference: Grenoble, France, 13 - 16 September 1993 (ESSDERC '93) / Borel, J. (Hrsg.), 1993 S. 879 - 882
    ISBN: 2-86332-135-8
  • Hemming, Erwin; Fiedler, Horst-Lothar; Mütterlein, Bernward; Vogt, Franz P.; Vogt, Holger; Rosch, Rainer; Goldyn, Dirk; Zapp, Robert
    Monolithischer Phasenabschnitt-Dimmer in 500-V-SIMOX-Technologie
    In: Mikroelektronik: Vorträge der GME-Fachtagung vom 8. bis 10. März 1993 in Dresden / GME-Fachtagung ; (Dresden) : 1993.03.08-10 / Seitzer, D.; (Hrsg.), 1993 S. 265 - 269
    ISBN: 3-8007-1934-7; 978-3-8007-1934-1
  • Werno, Jochen; Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger; Kersjes, Ralf A.
    Reduction of heat loss of silicon membranes by the use of trench etching techniques
    In: Abstracts / Eurosensors VII: 26 - 29 September 1993 1993 S. 348
  • Gassel, Helmut; Vogt, Holger
    SIMOX and wafer bonding, combination of competitors complements one another
    In: Extended abstracts: 183rd Electrochemical Society Meeting: Spring meeting ; Honolulu, Hawaii, USA, 16.-21.05. 1993 1993 S. 1246 - 1247
    ISBN: 1-56677-031-9
  • Vogt, Holger
    Smart power technology with dielectric insulation \textless1\textgreater: Processes and applications
    In: 3rd Mideuropean Symposium and Exhibition on Semiconductor Engineering and Technology SET '92: October 12 - 14, 1991 in Warsaw, Poland / Jakubowski, A. (Hrsg.), 1993 S. 63 - 65
  • Weyers, Joachim; Vogt, Holger
    A 50 V smart power process with dielectric isolation by SIMOX
    In: Technical digest / International Electron Devices Meeting 1992 1992 S. 225 - 228
    ISBN: 0-7803-0817-4; 0-7803-0818-2; 0-7803-0819-0
  • Kandler, Michael; Manoli, Yiannakis; Mokwa, Wilfried; Spiegel, Egbert; Vogt, Holger
    A miniature single chip pressure and temperature sensor
    In: Workshop on micromachining, micromechanics and microsystems: MME '92 ; 3. Leuven, Belgium, 01.-02.06.1992 1992 S. 183 - 186
  • Vogt, Franz P.; Mütterlein, Bernward; Vogt, Holger
    An intelligent 500 V power vertical DMOS on SIMOX substrate
    In: Extended abstracts: 181st Society Meeting: St. Louis, Mo., USA, 17.-22.05.1992 1992 S. 265 - 266
  • Vogt, Franz P.; Mütterlein, Bernward; Vogt, Holger
    An intelligent 500 V power vertical DMOS on SIMOX substrate
    In: Proceedings of the Fifth International Symposium onSilicon-on-Insulator Technology and Devices: [held May 17 - 22, 1992 in St. Louis, Missouri] / Bailey, Wayne E. (Hrsg.), 1992 S. 77 - 88
    ISBN: 1-56677-013-0
  • Weyers, Joachim; Vogt, Holger; Berger, Michael; Mach, Wolfgang; Mütterlein, Bernward; Raab, Michael; Richter, Frank; Vogt, Franz P.
    Integration of vertical/quasivertical DMOS, CMOS and bipolar transistors in a 50V SIMOX process
    In: Solid state device research 92: proceedings of the 22nd European Solid State Device Research Conference, ESSDERC '92, 14 - 17 September 1992, Leuven, Belgium / Maes, Herman E. (Hrsg.), 1992 S. 733 - 735
    ISBN: 0-444-89478-0
  • Gassel, Helmut; Peter-Weidemann, Jürgen; Vogt, Holger
    Novel approach to defect etching in thin film SOI
    In: Proceedings of the Fifth International Symposium onSilicon-on-Insulator Technology and Devices: [held May 17 - 22, 1992 in St. Louis, Missouri] / Bailey, Wayne E. (Hrsg.), 1992 S. 251 - 258
    ISBN: 1-56677-013-0
  • Dura, Heinz-Georg; Gassel, Helmut; Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
    SIMOX, an efficient etch-stop to fabricate silicon membranes with well defined thickness (1)
    In: Extended abstracts: 181st Society Meeting: St. Louis, Mo., USA, 17.-22.05.1992 1992 S. 321 - 322
  • Dura, Heinz-Georg; Gassel, Helmut; Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
    SIMOX, an efficient etch-stop to fabricate silicon membranes with well defined thickness (2)
    In: Proceedings of the Fifth International Symposium onSilicon-on-Insulator Technology and Devices: [held May 17 - 22, 1992 in St. Louis, Missouri] / Bailey, Wayne E. (Hrsg.), 1992 S. 403 - 408
    ISBN: 1-56677-013-0
  • Pieczynski, Janusz; Vogt, Holger
    Characterization of CMOS-process using test chips and automatic test system
    In: SEMICON/Europa 91 : Technical Proceedings: Zürich, Switzerland, 05.-06.03.1991 1991 S. 160 - 168
  • Badenes, Goncal; Burbach, Gert; Gassel, Helmut; Vogt, Holger; Walter, Axel
    Minimum oxygen dose for reliable application of SIMOX
    In: International Conference on Advanced Materials (ICAM 91): Final book of abstracts 1991 S. D - IV2
  • Badenes, Goncal; Burbach, Gert; Gassel, Helmut; Vogt, Holger
    SIMOX-devices for analog circuits
    In: 1991 IEEE International SOI Conference proceedings: October 1 - 3, 1991, Vail Valley, Colorado / Duffy, Michael T. (Hrsg.), 1991 S. 168 - 169
    ISBN: 0-7803-0184-6; 0-7803-0185-4; 0-7803-0186-2
  • Dura, Heinz-Georg; Belz, Joachim; Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger; Zimmer, Günter
    Batch process for the production of single crystal silicon membranes by the use of SIMOX-wafers
    In: Technical digest / MME '90, Micromechanics Europe 1990: 2nd Workshop on Micromachining, Micromechanics and Microsystems, Berlin, Germany, 26 - 27 November 1990 1990 S. 31 - 35
  • Belz, Joachim; Burbach, Gert; Vogt, Holger; Pieczynski, Janusz
    Characterization of CMOS devices and circuits build on SIMOX substrates
    In: Extended abstracts: 177th Society Meeting: Spring meeting ; Montreal, Quebec, Canada, 06.-11.05.1990 1990 S. 504
  • Belz, Joachim; Burbach, Gert; Vogt, Holger; Pieczynski, Janusz
    Characterization of CMOS-devices and circuits built on SIMOX substrates
    In: Proceedings of the Fourth International Symposium on Silicon-on-Insulator Technology and Devices / Schmidt, Dennis N. (Hrsg.), 1990 S. 518 - 523
  • Zimmer, Günter; Vogt, Holger
    Introduction to VLSI technology
    In: Proceedings of the First International Workshop on Digital Signal Processing Techniques Applied to Space Communications: 9-10 November 1988, ESTEC, Noordwijk, the Netherlands / International Workshop on Digital Signal Processing Techniques Applied to Space Communications ; 1 (Noordwijk) : 1988.11.09-10 / 1990 S. 155 - 161
  • Belz, Joachim; Boguszewicz, Remigiusz; Burbach, Gert; Fiedler, Horst-Lothar; Karl, Rainer; Mütterlein, Bernward; Stein, Erhard; Vogt, Franz P.; Vogt, Holger
    Smart-Power-Schalter mit integrierter, dielektrisch isolierter CMOS-Ansteuerung
    In: BICMOS und Smart Power: Anwendungen, Stand, Perspektiven ; Vorträge der GME-Fachtagung 6. bis 7. Februar 1990 in Bad Nauheim / GME-Fachtagung ; (Bad Nauheim) : 1990.02.06-07 / Zimmer, Günter; (Hrsg.), 1990 S. 155 - 161
    ISBN: 3-8007-1679-8; 978-3-8007-1679-1
  • Belz, Joachim; Burbach, Gert; Vogt, Holger; Zimmermann, W.
    Temperature behaviour of CMOS devices built on SIMOX substrates
    In: ESSDERC 90: 20th European Solid State Device Research Conference, Nottingham, 10 - 13 September 1990 / Eccleston, W.; Rosser, P. J. (Hrsg.), 1990 S. 449 - 452
    ISBN: 0-7503-0065-5
  • Pieczynski, Janusz; Vogt, Holger
    Automatic parameter extraction system with process failure diagnosis for CMOS process
    In: Proceedings of the 1989 International Conference on Microelectronic Test Structures: Edinburgh, Scotland, 13 - 14th March 1989 1989 S. 205 - 210
    ISBN: 0-87942-714-0
  • Belz, Joachim; Burbach, Gert; Vogt, Holger; Zimmer, Günter
    CMOS/SOI-Technologie auf implantiert vergrabenem Isolator
    In: Mikroelektronik: (bisher "Großintegration") ; Vorträge d. GME-Fachtagung vom 13. bis 15. März 1989 in Baden-Baden / GME-Fachtagung Mikroelektronik ; 1 (Baden-Baden) : 1989.03.13-15 / Strack, Hans; (Hrsg.), 1989 S. 103 - 107
    ISBN: 3-8007-1624-0; 978-3-8007-1624-1
  • Buttler, Werner; Hosticka, Bedrich; Lutz, Gerhard; Manfredi, Pier Francesco; Vogt, Holger
    Rauscharme und strahlungsfeste JFET - CMOS Auslese-Verstärker
    In: Mikroelektronik: (bisher "Großintegration") ; Vorträge d. GME-Fachtagung vom 13. bis 15. März 1989 in Baden-Baden / GME-Fachtagung Mikroelektronik ; 1 (Baden-Baden) : 1989.03.13-15 / Strack, Hans; (Hrsg.), 1989 S. 133 - 138
    ISBN: 3-8007-1624-0; 978-3-8007-1624-1
  • Stuch, Detlef; Skapa, Helmut; Vogt, Holger; Zimmer, Günter
    Development of CMOS compatible p-channel junction-field-effect transistors for very low noise applications
    In: Solid state devices: proceedings of the 17. European Solid State Device Research Conference, ESSDERC '87, Bologna, Italy, 14 - 17 Sept. 1987 / Soncini, Giovanni (Hrsg.), 1988 S. 675 - 678
    ISBN: 0-444-70477-9
  • Zhang, Yinne; Dobos, Karoly; Mokwa, Wilfried; Xiao, Gang; Vogt, Holger; Zimmer, Günter
    MOSFET gas sensor with integrated temperature measurement and heating elements fabricated with standard CMOS technology
    In: Eurosensors II: Enschede, The Netherlands, 02.-04.11.1988 ; technical digest, final programme 1988 S. 55
  • Zimmer, Günter; Vogt, Holger; Belz, Joachim; Kaat, Erich H. te
    Buried silicon nitride formed by nitrogen implantation
    In: Extended abstracts: 169th Society Meeting: Boston, Mass., USA, 04.-09.05.1986 1986 S. 110
  • Zimmer, Günter; Vogt, Holger; Gruber, Volker
    Optimization of contacts for CMOS
    In: ESSDERC '86, University of Cambridge, 8 - 11 September 1986: [16th European Solid State Device Research Conference] / Moore, D. F. (Hrsg.), 1986 S. 170 - 171
  • Belz, Joachim; Kaat, Erich H. te; Zimmer, Günter; Vogt, Holger
    The growth of buried silicon nitride formed by nitrogen implantation
    In: Dielectric layers in semiconductors: novel technologies and devices ; 1986 ; 12 ; June 17th - 20th 1986, Strasbourg (France) 1986 S. 121 - 122
    ISBN: 2-86883-042-0
  • Vogt, Holger; Zimmer, Günter
    Technology for VLSI devices on ion implanted buried silicon nitride
    In: SOI Technology and 3D integration: extended abstracts 1985 S. 111 - 115
  • Stein, Erhard; Salten, E.; Vogt, Holger; Zimmer, Günter
    DODES, a program for modelling MOS and bipolar technologies
    In: US-German Workshop Fundamental problems in VLSI processing: Munich, Germany, 07.-09.07.1982 1982 S. 111 - 113
  • Zimmer, Günter; Fiedler, Horst-Lothar; Höfflinger, Bernd; Neubert, E.; Vogt, Holger
    A high-performance scaled Si gate CMOS technology
    In: European Solid State Device Research Conference: ESSDERC 81 ; Toulouse, France, September 14th - 17th, 1981 1981 S. 87 - 88
  • Bücher/Sammelwerke/Tagungsbände

  • Vogt, Holger
    Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen
    Düsseldorf (1993) V, 155 S.
    (Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9 ; 167)
    ISBN: 3-18-146709-X
  • Vogt, Holger
    Hochdosisimplantation von Stickstoff in Silizium : eine Technik zur Erzeugung von dielektrisch isolierten CMOS-Bauelementen mit hoher Integrationsdichte
    Düsseldorf (1986) 152 S.
    (Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9 ; 64)
    ISBN: 3-18-146409-0
  • Poster / Posterbeiträge

  • Dierk, Sarah; Ünlübayir, Sinan; Trieu, Hoc-Khiem; Vogt, Holger; Köper, Ingo
    A new approach for detecting ionophore concentrations in tethered bilayer lipid membranes
    In: Biomedizinische Technik = Biomedical Engineering: joint journal of the German Society for Biomedical Engineering in VDE and the Austrian and Swiss Societies for Biomedical Engineering / 45. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für Biomedizinische Technik (DGBMT), 27.-30.09.2011, Freiburg / Jg. 56 (2011) Nr. s1, S. P96
    ISSN: 0013-5585; 1862-278X