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Datensatz 147 wird angezeigt:
| Parameter | Wert |
|---|---|
| Autor | Rai-Choudhury, P. |
| Buchtitel | Handbook of Microlithography, Micromachining and M. 1 |
| Verlag | SPIE Optical Engineering Press |
| Jahr | 1997 |
| ISBN | 0-85296-906-6 |
| Signatur | YFB4273-1+1 |
| Stichwort | Lithography |
| Kategorie | Electronic |
| Eigentum | HAPP |
| Status | Entleihbar |
| Letzte Änderung | 0000-00-00 von IP |
| Zeitstempel | 0000-00-00 00:00:00 |
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