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ParameterWert
AutorBüttgenbach, S.
BuchtitelMikromechanik
VerlagB.G. Teubner, Stuttgart
Jahr1991
ISBN3-519-03071-3
SignaturZTH1101+1
StichwortMicroelectronic, Lithography
KategorieElectronic
EigentumHAPP
StatusEntleihbar
Letzte Änderung0000-00-00 von IP
Zeitstempel0000-00-00 00:00:00

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