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Datensatz 537 wird angezeigt:
| Parameter | Wert |
|---|---|
| Autor | Sugawara, Minoru |
| Buchtitel | Plasma etching. |
| Verlag | Oxford Univ. Press |
| Jahr | 1998 |
| ISBN | 0-19-856287-0 |
| Signatur | ZJQ1318+1 |
| Stichwort | Plasma, Etching, Semiconductors |
| Kategorie | Solid State Physics |
| Eigentum | HAPP |
| Status | Entleihbar |
| Letzte Änderung | 0000-00-00 von IP |
| Zeitstempel | 0000-00-00 00:00:00 |
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