Schaltkreis- und HF-Simulation
- Keysight ADS (HF-Designund Layout)
- Cadence (Design und Layout)
- Qucs (open source circuit design) zum Einsatz in der Lehre
- HFSS (3D-EM-Simulation)
- IMST EMPIRE (3D-EM-Simulation)
Bauelement-Simulation
- Synopsis SENTAURUS (2D/3D TCAD, physikalische Bauelementsimulation)
- Silvaco TCAD
- QuantumATK (atomistische Simulation, Bandstruktur-Berechnung)
Vektor-Netzwerkanalyse
- Breitband VNA 0-67 GHz (R&S)
- verschiedene mm-Wellen und THz-Extender bis 300 GHz
- Freistrahl-Messplatz und Waferprober
Spektrum-Analyse
- Frequenzspektrum- und Rauschanalysator 50 GHz (R&S)
- verschiedene Mischer bis 750 GHz
- Freistrahl-Messplatz mit lock-in Messung
Automatisierte Wafer-Prober
- halbautomatischer Waferprober
- geschirmte Messkammer
- Prober-Software integriert mit Messgeräten zur Datenerfassung
- low-noise DC SMU (Keithley)
- Netzwerkanalysator (4-Port) 0-67 GHz (R&S)
Messplätze für Studierende
- moderne Ausstattung (Keysight donation)
- Signalgenerator
- Stromquellen
- Oszilloskope
- Einsatz in der Lehre (Praktika)
