Messprinzip

Ein gutes Lichtmikroskop besitzt eine Auflösungsgrenze von 0,2 µm, da das Auflösungsvermögen proportional zur Wellen­länge des Lichts ist. Eine weitere Verbesserung der Auflösungsgrenze konnte durch die Verwendung von Elektronenstrahlen erreicht werden, die gegenüber Lichtwellen eine um ca. 10⁵fach kleinere Wellenlänge besitzen. Weiterhin besitzen Rasterelektronenmikroskope eine viel größere Schärfentiefe, die bei REM Bildern zu einem dreidimensionalen Eindruck führen. Ein weiterer Unterschied des REM zu einem Lichtmikro­skop besteht in der Bilderzeugung. Während Lichtmikroskope „Direktbilder“ liefern, ist ein REM-Bild ein synthetisches Abbild der auf einer Probenoberfläche stattfindenden Wechselwir­kungsprozesse zwischen Elektronen und Probenoberfläche. Dazu wird die Probenoberfläche mit einem Primärelektronenstrahl abgerastert. Mit Hilfe der dort entstehenden Sekundärsignale wird die Helligkeitsmodulation einer Bildschirmröhre gesteuert.

Messapparatur

Bei dem Rasterelektronenmikroskop handelt es sich um ein Gerät der Firma Zeiss [DSM 962].

Anwendung

• Strukturuntersuchungen z.B. Kontaktzonen, Mikrorisse .
• Treibende Bestandteile z.B. Ettringit

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