Impedanzspektroskopie an Nanomaterialien/Sensorik

Am Institut sind mehrere Messplätze zur Charakterisierung der Sensoreigenschaften von Nanopartikeln eingerichtet. In unserer Arbeitsgruppe wird die gesamte Prozesskette zur Herstellung der Sensoren durchlaufen. Von der Herstellung der Substrate mit Elektronenstrahl-Lithographie über die Belegung mit den sensitiven Schichten mittels Molekularstrahltechnik bis zur Charakterisierung der Sensoren bzgl. Selektivität und Sensitivität untersuchen wir den Einfluss der verschiedenen Prozessschritte auf die Funktion des Sensors. Der Zugriff auf alle Prozessparameter ermöglicht die gezielte Modifikation und detaillierte Charakterisierung aller Einflussgrößen.

Die Impedanzspektroskopie ist ein hilfreiches Werkzeug für die Charakterisierung von leitfähigen Nanomaterialien. Das große Oberfläche-zu-Volumen-Verhältnis von Nanopartikeln führt dazu, dass Oberflächen- und Korngrenzeffekte eine besonders wichtige Rolle bezüglich der Partikeleigenschaften spielen. Gerade diese Effekte lassen sich mit der Impedanzspektroskopie besonders gut untersuchen.

Kontrolle der fertigen Sensoren im Rasterelektronenmikroskop

Untersuchung von SnO2 mit Impedanzspektroskopie