Mit Hilfe der hohen Ortsauflösung des Röntgenstrahles ist es mögliche 2-dimensionale Karten der chemischen Zusammensetzung einer Oberfläche aufzunehmen.

Beispielhaft zeigt dies Abbildung 4. Eisenoxid- und Siliziumnitridpartikel wurden als Pulver auf die Probe aufgebracht und vermessen. Dargestellt ist eine knapp 0.075 mm² Fläche. Farbkodiert ist die Intensität der vorhanden Partikel zu sehen. Die roten Bereiche zeigen das Eisenoxid, während die Blauen Siliziumnitrid representieren.

Abbildung 1: Chemische Karte von Fe₂O₃ und SiN Nanopartikeln. Die rot gefärbten Bereiche bestehen nur aus Fe₂O₃, die blauen aus SiN.