VersaProbe II: Spezifikation
Gerätespezifikationen
| Gerätetyp: | ULVAC-PHI VersaProbe II |
| Gerätebezeichnung: | UPS & Mikrofokus XPS |
| Vorhandene Lichtquellen: | Monochromatische Mikrofokus XPS-Quelle mit Al Kα XPS-Dual Anode mit Mg Kα & Al Kα He-Plasma UV Quelle |
| Bestmögliche Ortsauflösung (XPS): | 10 µm |
| Bestmögliche spektrale Auflösung (XPS): | 0.48 eV für Ag 3d 5/2 Linie und Mikrofokus Quelle 0.85 eV für Ag 3d 5/2 Linie und Al Kα der Dual Anode |
| Bestmöglicher Akzeptanzwinkel: | ±5° |
| Verfügbarer Winkelbereich: | -40° bis 45° |
| Probentemperaturbereich: | -120°C bis 500°C (in PES Messposition) -130°C bis 800°C (in Präparationskammer) |
| Sputterquellen: | Ulvac-Phi FIG-5CE: 5kV Ion Gun mit Argon-Ionen(in PES Messposition) Prevac IS40C1: 5kV Ion Gun mit Argon-Ionen (in Präparationskammer) |
| Maximale Probengröße (BxLxH): | ca. 50 x 50 x 10 mm3 |
Ihr Ansprechpartner für das XPS:
LSF nicht erreichbar. (SOAP-ERROR: Parsing WSDL: Couldn't load from 'https://campus.uni-due.de/lsf/services/soapsearch?wsdl' : failed to load external entity "https://campus.uni-due.de/lsf/services/soapsearch?wsdl"
)
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