ICAN: Sputter Coater ACE 600

Sputter Coater ACE 600

Das Leica EM ACE600 ist ein Hochvakuum-Beschichtungssystem, mit dem extrem dünne, feinkörnige Metallfilme und elektrisch leitfähige Kohlenstoffbeschichtungen für die hochauflösende FE-REM und TEM-Analyse hergestellt werden können. Maximal zwei gewinkelte Quellen können konfiguriert werden. Für die optimale Verteilung ist eine automatische Tischdrehung in das System integriert. Mithilfe der Quarzmessung wird die Schichtdicke ermittelt. Für die gleichmäßige Beschichtung ist ein Tisch mit Planetengetriebe verfügbar.

Die Proben werden entweder nach dem Sputterverfahren mit Metall beschichtet, wobei das Targetmaterial durch Argonplasma erodiert wird, oder mittels Elektronenstrahlverdampfung, wobei die Kohlenstoffbeschichtung durch einen Kohlefaden erfolgt.

Jedes Material, das nicht durch Vakuum, Argonplasma oder die erzeugte Wärme beschädigt wird, kann beschichtet werden.

Leica EM ACE600

Spezifikationen:

Sputterquellen: Kohlenstoff (Kohlefaden) und Chrom (Cr-Target)
Beschichtungszeit: 1-1800 sec.
Beschichtungsdicke: 1-1000 nm
Folientarget: 54 mm max. Durchmesser, 1 mm Dicke
Stage Winkel: +/-60°
Target Winkel (Quellenwinkel zum Probentisch): 25°
Arbeitsabstand: min. 300 mm, max. 100 mm
Drehbarer Probentisch: 24 Positionen für 12,7 mm SEM-Probenteller
Vakuumsystem: Turbomolekularpumpe und Membranpumpe

 

Quartz-Schichtdickenmessung (QSG)
Tisch mit Planetengetriebe
Touchscreen-Bedienfeld
Automatische oder manuelle Höhen-und Neigungsverstellung


E-Mail: ican@uni-due.de