ICAN: Cross Section Polisher

Cross Section Polisher

Der Cross Section Polisher ist ein Präparationssystem zur Herstellung von Probenquerschnitten für REM-, EPMA- und SAM-Anwendungen. Weiche, harte und Verbundwerkstoffe können mit einem Minimum an Probenschädigung (z.B. Verformung) präpariert werden.

Der Cross Section Polisher erzeugt glatte Oberflächen in fast jedem Material wie Metallen, Keramiken, Glas und Papier sowie weichen Werkstoffen wie Kunststoffen.

Ein Ar-Ionenstrahl poliert Querschnitte über einem ca. 1 mm² großen Bereich. Durch den streifenden Einfall des Ionenstrahls wird der Eintrag von Ar-Ionen in die Oberfläche minimiert. Die Probe wird senkrecht zum Ar-Ionenstrahl orientiert und kann durch eine variable Blende zum Teil abgeschattet werden. Der feine Ionen-Strahl von einem halben Millimeter im Durchmesser durchtrennt harte und weiche Werkstoffe gleichermaßen an der durch die Position der Blende vorgegebenen Kante. Ein Einbetten der Probe ist in der Regel nicht nötig.

JEOL Cross Section Polisher

Spezifikationen:

Beschleunigungsspannung: 2-6kV
Ionenstrahlbreite (FWHM – full width half maximum): 500µm (bei 6kV an Si Probe)
Abtragungsgeschwindigkeit: 100µm/ Stunde bei Si
Probengröße (max.): 11mm (B) x 10mm (L) x 2mm (H)
Probenverfahrwege: +/- 10mm (X-Achse), +/- 3mm (Y-Achse)
Probenrotation: +/- 5°
Gas für Ionenstrahl: Argon
Druckmesser: Penningröhre
Hauptvakuumpumpe: Turbomolekularpumpe (TMP) 10-4 Pa
Vorvakuumpumpe: Rotationspumpe (RP)
Positionierungskamera: Vergrößerung 70 fach (auf 16,5 cm Display)

 


E-Mail: ican@uni-due.de