ICAN: Ion Slicer

Ion Slicer

Der Ion Slicer (IS) dient der Präparation von Dünnschichtfilmen mit Argon-Ionen.

Mit dieser Methode können Proben für TEM-, STEM-, SEM- und Mikrosondenuntersuchungen ohne die Verwendung von Lösungsmitteln oder Chemikalien hegestellt werden.

Die Bauweise des IS mit verfahrbarer Abschirmblende, die dem Probenschutz dient, erlaubt einen flachen Einfallswinkel des Ionenstrahles von 0° bis 6°, was die Strahlschädigung der Probe und die damit verbundene Amorphisierung reduziert.

Die Probe kann während des Polierprozesses um ±30° gekippt werden, um einen homogenen Polierbereich zu präparieren.

Abb.: JEOL Ion Slicer

Spezifikationen:

Beschleunigungsspannung: 1-8 kV
Abtragungsgeschwindigkeit: 5µm/min
Probengröße: 0.8 mm (B )x 2.8 mm (L)x 0.1 mm (H)
Probenrotation: +/-30°
Gas für Ionenstrahl: Argon
Arbeitswinkel des Ionenstrahles: 0°-6°
Druckmesser: Penningröhre
Hauptvakuumpumpe: Turbomolekularpumpe (TMP)
Vorvakuumpumpe: Rotationspumpe


E-Mail: ican@uni-due.de