ICAN: Präzisions-Ionen-Poliersystem

PIPS

Die PIPS ist eine Präzisions-Ionen-Polier-Anlage, um TEM-Proben in hoher Qualität herzustellen. Die einfache Bedienung der PIPS wird über einen Touch Screen ermöglicht. Die zwei Argon-Ionenquellen lassen sich variabel und unabhängig voneinander in einem Winkelbereich von +/-10° kippen. Die Ionenenergie ist zwischen 100 eV und 8keV wählbar und eine Fokuselektrode erlaubt auch in niedrigen Energiebereichen <3 keV und flachen Winkeln von < 3º hohe Abtragsraten.

Die PIPS hat eine Whisperlok zum schnellen und einfachen Probenwechsel und Probenhalter für doppelseitige Dünnung bei niedrigem Einstrahlwinkel. Ebenfalls gibt es einen X,Y Probentisch (+/-0,5 mm) zur präzisen Zentrierung der zu dünnenden Probenbereiche, insbesondere zur Nachpräparation von FIB-Proben.

Ein digitales Zoom-Mikroskop ermöglicht die Überwachung des Dünnungsprozesses durch Video- und Bildaufnahmen in DigitalMicrograph.

Precision Ion Polishing System

Spezifikationen:

Ioneneinfallwinkel: 2x +/-10° unabhängig voneinander einstellbar
Ionenquelle: 0.1 - 8 keV
Ionenstromdichte: : max. 10 mA/cm²
X,Y-Probenverschiebung +/- 0,5 mm
Probenschleuse: Gatan Whisperlok, Probenwechselzeit (ungekühlt) < 1min
Probentemperatur : variabel zwischen -120°C und +50°C
Vakuumsystem: ölfrei, Membranpumpe (DP) und Turbopumpe (MDP)

 

Strahlmodulation bietet die Möglichkeit sowohl einseitig-als auch beidseitig und in zwei Sektoren zu dünnen


E-Mail: ican@uni-due.de