Dank des fokussierten Elektronenstrahles ist es möglich Rasterelektronenaufnahmen (SEM) zu machen. Unser System detektiert die generierten Sekundärelektronen mit einem Szintillator. Diese Funktion ermöglicht es auf der nanometer-Skala ein Objekt/Bereich zu suchen, an dem dann die chemische Analyse, durch die Detektion der Augerelektronen, durchgeführt wird. Abbildung 1 zeigt eine 20 µm x 20 µm große SEM Aufnahme von Platinnanodrähten auf Silizium. Das grüne Rechteck zeigt etwa den Bereich der hier (um 180° gedreht) durch das Augersignal dargestellt worden ist.