Ulvac-Phi 710 SAM: Spezifikation
Gerätespezifikationen
| Gerätetyp: | ULVAC-PHI 710 SAM |
| Gerätebezeichnung: | Scanning Auger Nanoprobe |
| Bestmögliche Ortsauflösung: | 7 nm |
| Bestmögliche spektrale Auflösung: | 0.1% des elastischen Peaks |
| Probentemperaturbereich: | RT |
| Sputterquellen: | 0.1 - 5 kV Ar+ Ionen |
| Maximale Probengröße (BxLxH): | ca. 50 x 50 x 10 mm3 |
Ansprechpartner:
Dr. Ulrich Hagemann (XPS, SAM, SIMS)
NETZ
Carl-Benz-Str. 199
47047 Duisburg
Raum U1.15
Tel.: 0203 379-8035
E-Mail: ulrich.hagemann@uni-due.de
Größe, Morphologie & Topographie:
Kristallstruktur & Defekte:
Chemische Struktur & Zusammensetzung:
Elektronische Struktur:
Physikalische & Chemische Eigenschaften:
- SPM
