Nanostrukturen und nanostrukturierte Bauelemente auf Festkörperbasis haben, oft unbemerkt,  in den letzten Jahren Einzug in unseren Alltag gehalten. Halbleiter-Laser, Speicherbausteine oder Leseköpfe für magnetische Speichermedien seien als herausragende Beispiele genannt.
Die Herstellung solcher Elemente ist meist eine sehr vielschichtige Abfolge verschiedener Prozesse und Technologien.

Die Veranstaltung bietet einen Überblick über die Verfahren zur Herstellung komplexer Nanostrukturen und Bauelemente auf Festkörperbasis.

Themen-Schwerpunkte :

•  Basistechnologien in der Nanostrukturierung
•  komplexe epitaktische Verfahren
•  komplexe lithografische Techniken
•  3D Strukturierung und Anwendungsbeispiele

Die Veranstaltung findet jeweils im Sommersemester statt.

 Ansprechpartner:

Prof. Dr. rer. nat. Gerd Bacher

 BA 109, 0203 / 379 - 3406

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