VersaProbe II: Spezifikation

Gerätespezifikationen

Gerätetyp:	ULVAC-PHI VersaProbe II
Gerätebezeichnung:	UPS & Mikrofokus XPS
Vorhandene Lichtquellen:	Monochromatische Mikrofokus XPS-Quelle mit Al Kα XPS-Dual Anode mit Mg Kα & Al Kα He-Plasma UV Quelle
Bestmögliche Ortsauflösung (XPS):	10 µm
Bestmögliche spektrale Auflösung (XPS):	0.48 eV für Ag 3d 5/2 Linie und Mikrofokus Quelle 0.85 eV für Ag 3d 5/2 Linie und Al Kα der Dual Anode
Bestmöglicher Akzeptanzwinkel:	±5°
Verfügbarer Winkelbereich:	-40° bis 45°
Probentemperaturbereich:	-120°C bis 500°C (in PES Messposition) -130°C bis 800°C (in Präparationskammer)
Sputterquellen:	Ulvac-Phi FIG-5CE: 5kV Ion Gun mit Argon-Ionen(in PES Messposition) Prevac IS40C1: 5kV Ion Gun mit Argon-Ionen (in Präparationskammer)
Maximale Probengröße (BxLxH):	ca. 50 x 50 x 10 mm³