Die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) ist eine vielseitig einsetzbare Charakterisierungsmethode von unterschiedlichsten Materialien mit höchster örtlicher und energetischer Auflösung. Die Proben werden von hochenergetischen Elektronen durchstrahlt und müssen hierzu Elektronentransparent sein, d.h. Dicken von unter 100 nm aufweisen. Das JEOL JEM-2200FS erlaubt die Abbildung mit konventioneller TEM oder der Rastertransmissionselektronenmikroskopie (STEM).

Die Öffnungsfehler der elektromagnetischen Linsen können im STEM-Modus mittels elektronenoptischem Korrektor der Firma CEOS korrigiert werden, um atomare Auflösung zu erreichen. Zusätzlich kann die Abbildung mit analytischen Methoden, wie der Elektronenenergieverlustspektroskopie (EELS) oder der energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDX) kombiniert werden.

In Abbildung 1 sind die wichtigsten Wechselwirkungsmechanismen des primären Elektronenstrahls mit der dünnen Probe dargestellt.

Abbildung 1: Schematische Darstellung der Wechselwirkungsmechanismen des primären Elektronenstrahls mit der dünnen Probe.