Focused Ion Beam
Was kann ein Focused Ion Beam?
Die Arbeitsgruppe von Prof. Dr. Lorke nutzt ein FIB/SEM DualBeam™ Mikroskop der Firma FEI als „Nanowerkbank“ zur Probenpräparation im Nanometer-Maßstab. Mit diesem Gerät ist es zum einen - wie bei einem klassischen Rasterelektronenmikroskop (SEM) - möglich Aufnahmen von Proben mit sehr hoher Auflösung zu erstellen und zum anderen Proben mit Hilfe von Gallium-Ionen zu strukturieren. Die Abkürzung FIB steht für Focused Ion Beam. Beide Möglichkeiten sind hier in einem Gerät vereinigt.
Abbildung 1: Elektronenmikroskopische Aufnahme eines mit dem Ionenstrahl präparierten Querschnitts durch eine Elektrode für eine Li-Batterie Draufsicht (links), Ansicht des Querschnitts (rechts).
Abbildung 2: Mit dem Ionenstrahl in ein Haar strukturierter CENIDE-Schriftzug (nachträglich eingefärbt)
Abbildung 3: Mit dem Ionenstrahl aus einem nanoporösen Indium-Zinn-Oxid-Film strukturierte Hall-Messgeometrie
Weiterführende Informationen
Focused Ion Beam in ICAN
Abbilden mittels SEM und FIB
Das Abbilden von Probenoberflächen ist mit dem Elektronenstrahl sowie dem Ionenstrahl bis zu einer Auflösung von ca. 1 nm bzw. 5 nm möglich.
Schneiden und Strukturieren
Mit Hilfe des Ionenstrahls ist es möglich, eine laterale Strukturierung von Proben vorzunehmen, aber auch in die Probe hinein zu schneiden, um Querschnitte der Proben zu untersuchen.
Lokale Materialdeposition
Zusätzlich gestattet dieses Gerät die Deposition von Platin, als leitendes Material, und Siliziumoxid, als isolierendes Material.
Präparation von TEM-Lamellen
Für eine Untersuchung mittels TEM ist es notwendig eine sehr dünne Lamelle zu präparieren. Dies kann auf herkömmliche Weise durch Polieren erreicht werden.
Ihr Ansprechpartner für die FIB:
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