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Was kann ein Focused Ion Beam?

Die Arbeitsgruppe von Prof. Dr. Lorke nutzt ein FIB/SEM DualBeam™ Mikroskop der Firma FEI als „Nanowerkbank“ zur Probenpräparation im Nanometer-Maßstab. Mit diesem Gerät ist es zum einen - wie bei einem klassischen Rasterelektronenmikroskop (SEM) - möglich Aufnahmen von Proben mit sehr hoher Auflösung zu erstellen und zum anderen Proben mit Hilfe von Gallium-Ionen zu strukturieren. Die Abkürzung FIB steht für Focused Ion Beam. Beide Möglichkeiten sind hier in einem Gerät vereinigt.

Abbildung 1: Elektronenmikroskopische Aufnahme eines mit dem Ionenstrahl präparierten Querschnitts durch eine Elektrode für eine Li-Batterie Draufsicht (links), Ansicht des Querschnitts (rechts).

© ICAN 2020 | Abbildung 2

Abbildung 2: Mit dem Ionenstrahl in ein Haar strukturierter CENIDE-Schriftzug (nachträglich eingefärbt)

© ICAN 2020 | Abbildung 3

Abbildung 3: Mit dem Ionenstrahl aus einem nanoporösen Indium-Zinn-Oxid-Film strukturierte Hall-Messgeometrie

Weiterführende Informationen

Focused Ion Beam in ICAN

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Abbilden mittels SEM und FIB

Das Abbilden von Probenoberflächen ist mit dem Elektronenstrahl sowie dem Ionenstrahl bis zu einer Auflösung von ca. 1 nm  bzw. 5 nm möglich.

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Schneiden und Strukturieren

Mit Hilfe des Ionenstrahls ist es möglich, eine laterale Strukturierung von Proben vorzunehmen, aber auch in die Probe hinein zu schneiden, um Querschnitte der Proben zu untersuchen.

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Lokale Materialdeposition

Zusätzlich gestattet dieses Gerät die Deposition von Platin, als leitendes Material, und Siliziumoxid, als isolierendes Material.

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Präparation von TEM-Lamellen

Für eine Untersuchung mittels TEM ist es notwendig eine sehr dünne Lamelle zu präparieren. Dies kann auf herkömmliche Weise durch Polieren erreicht werden.

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FEI Helios NanoLab™ 600

Gerätespezifikationen

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Ihr Ansprechpartner für die FIB:

ICAN - Interdisciplinary Center for Analytics on the Nanoscale
Anschrift
NETZ | Raum U1.13 | Carl-Benz-Str. 199
47057 Duisburg
Raum
LN U1.13

Funktionen

  • Technische/r Mitarbeiter/in, Center for Nanointegration Duisburg-Essen

Aktuelle Veranstaltungen

Keine aktuellen Veranstaltungen.

Vergangene Veranstaltungen (max. 10)

Keine vergangenen Veranstaltungen.

Die folgenden Publikationen sind in der Online-Universitätsbibliographie der Universität Duisburg-Essen verzeichnet. Weitere Informationen finden Sie gegebenenfalls auch auf den persönlichen Webseiten der Person.

    Artikel in Zeitschriften

  • Tigges, Sebastian; Wöhrl, Nicolas; Radev, Ivan; Hagemann, Ulrich; Heidelmann, Markus; Nguyen, Thai Binh; Gorelkov, Stanislav; Schulz, Stephan; Lorke, Axel
    One-step synthesis of carbon-supported electrocatalysts
    In: Beilstein Journal of Nanotechnology Jg. 11 (2020) S. 1419 - 1431
    ISSN: 2190-4286