Dank des fokussierten Elektronenstrahles ist es möglich Rasterelektronenaufnahmen (SEM) zu machen. Unser System detektiert die generierten Sekundärelektronen mit einem Szintillator. Diese Funktion ermöglicht es auf der nanometer-Skala ein Objekt/Bereich zu suchen, an dem dann die chemische Analyse, durch die Detektion der Augerelektronen, durchgeführt wird. Abbildung 1 zeigt eine 20 µm x 20 µm große SEM Aufnahme von Platinnanodrähten auf Silizium. Das grüne Rechteck zeigt etwa den Bereich der hier (um 180° gedreht) durch das Augersignal dargestellt worden ist.

Abbildung 1: Rasterelektronenaufnahme (SEM) von Platinnanodrähten auf Silizium. Die Größe des Bildes ist 20 µm x 20µm. Das grüne Rechteck gibt etwa den Bereich wieder, der hier als chemische Information dargestellt ist.


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Dr. Ulrich Hagemann (XPS, SAM, SIMS)

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47047 Duisburg
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Tel.: 0203 379-8035
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