Reinraum

Probenpräparation

Spezifikationen

  • Flowboxen mit mindestens ISO 6(ISO 14644)
  • Heizplatte bis 250°C
  • Spin Coater mit 8000 U/min
  • Ultraschallbad
  • Aceton und Isopropanol mit Reinraumqualität
  • VE-Wasser
  • Kontakt:

U. Wiedwald
D. Spoddig

Elektronenstrahllithographie

Spezifikationen

  • Spin Coater mit 8000 U/min
  • Verschiedene positive/negative Fotolacke
  • Lackdicke bis zu 1000nm