Pharos REM

Phenom Pharos Desktop REM von ThermoFisher

Desktop REM Geräteklasse

  • 2kV bis 15kV Beschleunigungsspannung
  • Vergrößerung bis zu 1.000.000
  • Schottky-FEG
  • Probendurchmesser bis zu 25mm
  • Probenhöhe bis zu 100mm
  • Variabler Vakuum Modus (niedrig/mittel/hoch)

Detektoren

  • 1 - 4 Quadranten Rückgestreuter Elektronen Detektor (BSE)
  • 2 - Everhart-Thornley Sekundär Elektronen Detektor (SE)
  • 3 - Chemische Zusammensatzung Bestimmung mittels EDX Detektor (SDD 25mm2)

REM laterale Auflösung

  • 2.5nm (SE), 4nm (BSE) bei 15kV
  • 10nm (SE) bei 3kV

EDX

  • Silicon Drift Detector (SDD)
  • Kühlung mittels Peltierelement (LN2 frei)
  • Aktive Detektorfläche 25mm²

Mikromanipulator installiert im Probencontainer

  • MM3A-EM Kleindiek
  • XY-Auflösung: <0.5nm
  • Z-Auflösung: 0.15nm
  • Gas-insertion-system (GIS)

Kontakt:
M. Farle
D. Spoddig