[23.11.2006] Die Überprüfungen zur Zertifizierung des Reinraums im Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik (ZHO) der Universität Duisburg-Essen sind abgeschlossen. Am 28. November überreicht der TÜV den Institutsleitern Prof. Franz Josef Tegude und Prof. Dieter Jäger das entsprechende Zertifikat, das dem ZHO bestätigt, dass sämtliche technischen Systeme des Reinraums den vorgegebenen internationalen Regeln entsprechen.

Vier Wochen hat der TÜV benötigt, um zu überprüfen, ob alle Anlagen zur Versorgung des Reinraums dem aktuellen Stand der Technik entsprechen. Dass diese Maschinen einwandfrei funktionieren, ist für die Arbeit im Reinraum unerlässlich. Ihre Aufgabe ist es, den Raum auch von kleinsten Staubpartikeln freizuhalten. Denn im ZHO arbeiten die Forscher in den Bereichen Optoelektronik, Mikro- und Nanotechnologie, also mit Elementen, die viele Größenordnungen kleiner sind als ein menschliches Haar. Schon ein kleines Staubkorn könnte die empfindliche Technik zerstören.

Das Papier bestätigt nicht nur, dass es sich beim ZHO-Reinraum wirklich um einen reinen Raum handelt. Die Zertifizierung macht das Forschungszentrum noch interessanter für mögliche Auftraggeber aus der mittelständischen Industrie. Denn sie brauchen den Nachweis, dass ihre Produkte in einem zertifizierten, den DIN/VDI- und ISO-Normen entsprechenden Reinraum hergestellt und geprüft wurden.

Redaktion: Julia Harzendorf, Tel. 0203/379-1489